特許
J-GLOBAL ID：201003048104657230

真空吸着部材、真空吸着装置及び真空吸着部材の製造方法

発明者：
澤田 正治

澤田 正治 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-130063
公開番号（公開出願番号）：特開2010-274378
出願日： 2009年05月29日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：
【課題】 吸着部と隔離部との間の接合がより強い真空吸着部材を提供する。【解決手段】 真空吸着部材(1)は、多孔質材料をそれぞれ含んだ複数の吸着部(3a,3b)と、複数の吸着部(3a,3b)の間に設けられる隔離部(4)とを備える。隔離部(4)は、少なくとも一部が吸着部の孔部内に入り込むことにより複数の吸着部(3a,3b)に接合されている。真空吸着装置は、この真空吸着部材(1)と複数の吸着部(3a,3b)を支持するとともに、内部に複数の吸着部(3a,3b)に対応する複数の吸引孔(6)を有する支持部(5)を有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
多孔質材料をそれぞれ含んだ複数の吸着部と、 前記複数の吸着部の間に設けられる隔離部と を備え、 前記隔離部は、少なくとも一部が前記複数の吸着部の孔部内に入り込むことにより前記複数の吸着部に接合されている真空吸着部材。
IPC (2件)：
B23Q 3/08 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
B23Q3/08 A ,  H01L21/68 P
Fターム (11件)：
3C016DA05 ,  3C016DA11 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA11 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA05 ,  5F031HA14 ,  5F031PA13 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (1件)
  • 真空吸着装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-315078   出願人：京セラ株式会社, 株式会社ディスコ

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