特許
J-GLOBAL ID：201003050828562588

原子間力顕微鏡装置

発明者：
藤本 博志

藤本 博志 について

, 
白石 貴行

白石 貴行 について


出願人/特許権者：
国立大学法人横浜国立大学

国立大学法人横浜国立大学 について


代理人 (2件)： 谷 義一 ,  阿部 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-231424
公開番号（公開出願番号）：特開2010-066077
出願日： 2008年09月09日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：
【課題】本発明の課題は、追従誤差を抑圧しつつ、高速に試料の表面形状を計測することができるAFMを提供することである。【解決手段】上記課題を解決するために、本発明に係る原子力顕微鏡装置は、試料表面と原子間力を介して相互作用する探針を有し、原子間力によってたわみを生ずるカンチレバと、カンチレバに向けて第1のレーザ光を入射するレーザ光提供手段と、カンチレバが第1のレーザ光を反射することにより発せられた第2のレーザ光を検出する光検出手段と、試料を載せたZピエゾと、X軸方向に探針を走査させ、試料表面の同一ラインを往復走査する際に、往路での走査の速さと復路での走査の速さとを異ならせるXスキャナと、出力yおよび制御入力uからサンプル点間を含む表面形状を推定するオブザーバと、それを学習するスタックメモリとを備え、メモリを適切に読み出してフィードフォワード学習信号を与えるコントローラを備えたことを特徴とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
試料表面の表面形状をコンタクトモードで画像化する原子間力顕微鏡装置であって、 前記試料表面と原子間力を介して相互作用する探針を有し、前記原子間力によってたわみを生ずるカンチレバと、 前記カンチレバに向けて第1のレーザ光を入射するレーザ光提供手段と、 前記カンチレバが前記第1のレーザ光を反射することにより発せられた第2のレーザ光を検出する光検出手段と、 前記試料を載せたZピエゾと、 前記試料上で前記試料のX軸方向に前記探針を走査させ、前記探針が、前記試料表面の同一経路を往復走査する際に、往路での走査の速さと復路での走査の速さとを異ならせるXスキャナと、 前記試料表面と前記探針との間の距離を前記Zピエゾに入力電圧を印加することにより制御し、前記第2のレーザ光によりフォトダイオードが受ける光強度の相対変化から前記カンチレバの前記たわみを出力電圧として検出し、 前記出力電圧と、前記入力電圧とから、前記試料表面の表面形状を計測するときに、前記探針が、前記試料表面の同一経路を往復走査する際に、往路での走査でオブザーバにより推定された表面形状を受け取り、復路での走査でフィードフォワード補償信号を出力するコントローラとを備えたことを特徴とする原子間力顕微鏡装置。
IPC (2件)：
G01Q 60/36 ,  G01Q 10/06
FI (2件)：
G01N13/16 101F ,  G01N13/10 101F
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM