特許
J-GLOBAL ID：201003051086982382
保護テープ及びウエーハの研削方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-180220
公開番号（公開出願番号）：特開2010-021344
出願日： 2008年07月10日
公開日（公表日）： 2010年01月28日
要約：
【課題】 ウエーハから容易に剥離可能な保護テープを提供することである。【解決手段】 ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を有する研削ホイールが回転可能に装着された研削手段とを備えた研削装置によって、ウエーハの一方の面を研削する際に該チャックテーブルに保持されるウエーハの他方の面を保護するための保護テープであって、隣接する2本の切れ目線によって頂角部が形成されるように中心部から少なくとも3本の切れ目線が放射状に形成され、一方の面に粘着層が形成されていることを特徴とする。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を有する研削ホイールが回転可能に装着された研削手段とを備えた研削装置によって、ウエーハの一方の面を研削する際に該チャックテーブルに保持されるウエーハの他方の面を保護するための保護テープであって、
隣接する2本の切れ目線によって頂角部が形成されるように中心部から少なくとも3本の切れ目線が放射状に形成され、一方の面に粘着層が形成されていることを特徴とする保護テープ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/304 622J
, H01L21/304 631
, B24B41/06 L
