特許

J-GLOBAL ID：201003054261766239

照明光学系及び露光装置

発明者： 梶山 和彦 ,  辻 俊彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 藤元 亮輔 ,  水本 敦也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-225694
公開番号（公開出願番号）：特開2010-062281
出願日： 2008年09月03日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：

【課題】光利用効率の改善と、照明光学系の有効光源の歪みを抑えて良好な照明を行うことの少なくとも一方を提供することが可能な照明光学系及び露光装置を提供する。【解決手段】発散角が異なる複数の切り替え可能な第1の反射型インテグレータ212と、母線方向Gが揃った複数の円筒反射面214aを有し、線状光源を形成する第2の反射型インテグレータ214と、線状光源を挟むように円筒反射面の母線方向に沿って対向して配置された一対の平面ミラー215a、215bと、第2の反射型インテグレータ214の射出側に配置され、開口形状が切り替え可能な開口絞り216と、一対の平面ミラーの間隔を調整する調整手段215cと、を有し、開口絞りの開口形状の切り替えに応じて第1の反射型インテグレータの切り替えと一対の平面ミラーの間隔の調整を行う照明光学系を提供する。【選択図】図19

請求項（抜粋）：

被照明面を照明する照明光学系であって、 光源からの光で複数の光源を形成する第1の反射型インテグレータと、 母線方向が揃った複数の円筒反射面を有し、前記第1の反射型インテグレータからの光で複数の線状光源を形成する第2の反射型インテグレータと、 前記複数の線状光源を挟むように、前記円筒反射面の母線方向に沿って対向して配置された一対の平面ミラーと、 前記被照明面に対して光学的にフーリエ変換の関係を有し、前記円筒反射面の母線方向に垂直な方向に前記第2の反射型インテグレータの射出側に配置され、開口形状が切り替え可能な開口絞りと、 前記開口絞りの前記開口形状の切り替えに応じて前記一対の平面ミラーの間隔を調整する調整手段と、 を有することを特徴とする照明光学系。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 19/00

FI (4件)：

H01L21/30 531A ,  H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  G02B19/00

Fターム (8件)：

2H052BA03 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  5F046CB02 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 照明光学系及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-380075   出願人：キヤノン株式会社
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-280783   出願人：キヤノン株式会社