特許
J-GLOBAL ID：200903099834196680

露光装置

発明者：
梶山 和彦

梶山 和彦 について

, 
辻 俊彦

辻 俊彦 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-280783
公開番号（公開出願番号）：特開2008-098527
出願日： 2006年10月13日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
【課題】有効光源の歪みを抑えて良好な照明を行う露光装置を提供する。【解決手段】母線方向Gが揃った複数の円筒反射面144を備え、平行変換光学系131からの光で複数の2次光源を形成する反射型インテグレータ140と、母線方向Gに垂直な開口絞り150と、2次光源からの光を被照明面上で重ね合わせる円弧変換光学系153とを有する露光装置100において、反射型インテグレータ140は、複数のインテグレータ部142を含み、複数のインテグレータ部142を、母線方向Gに垂直で且つ円筒反射面144の配列方向Hとは垂直な方向Pに並べて、開口絞り150の入射側に配置する。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
光源からの光を平行化する第1光学ユニットと、 母線方向が揃った複数の円筒反射面を備え、前記第1光学ユニットからの光で複数の2次光源を形成する反射型インテグレータと、 前記母線方向に垂直に配置された開口絞りと、 前記複数の2次光源それぞれからの光を被照明面上で重ね合わせる第2光学ユニットとを有する露光装置であって、 前記反射型インテグレータは、それぞれが複数の円筒反射面を備える複数のインテグレータ部を含み、前記複数のインテグレータ部を、前記母線方向に垂直で且つ前記円筒反射面の配列方向とは垂直な方向に並べて、前記開口絞りの入射側に配置することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (3件)：
H01L21/30 531A ,  H01L21/30 517 ,  G03F7/20 503
Fターム (9件)：
2H097AB09 ,  2H097CA06 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046CB13 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01 ,  5F046GB09
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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