特許

J-GLOBAL ID：200903001115104189

照明光学系及び露光装置

発明者： 辻 俊彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-380075
公開番号（公開出願番号）：特開2005-141158
出願日： 2003年11月10日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】 比較的少ないミラー枚数で、良好な照明を容易に可能とする照明光学系を提供すること。【解決手段】 光源からの光で被照明面を照明する照明光学系において、ミラー11と、そのミラーの反射面に対して略垂直に開口面が配置された絞り15と、を有することを特徴とする構成とした。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

光源からの光で被照明面を照明する照明光学系において、 ミラーと、該ミラーの反射面に対して略垂直に開口面が配置された絞りと、を有することを特徴とする照明光学系。

IPC (5件)：

G02B19/00 ,  G02B17/00 ,  G02B27/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G02B19/00 ,  G02B17/00 Z ,  G03F7/20 521 ,  G02B27/00 V ,  H01L21/30 531A ,  H01L21/30 517

Fターム (13件)：

2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA07 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  2H087KA21 ,  2H087TA02 ,  5F046BA05 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB05 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01

引用特許：

出願人引用 (3件)

• X線縮小投影露光装置及びこれを用いた半導体デバイス製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-223614   出願人：キヤノン株式会社
• 照明装置、投影露光装置及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-228796   出願人：キヤノン株式会社
• 照明装置、投影露光装置及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-232682   出願人：キヤノン株式会社