特許
J-GLOBAL ID：201003055789584716
マイクロ波導入機構、マイクロ波プラズマ源およびマイクロ波プラズマ処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-192095
公開番号（公開出願番号）：特開2010-074154
出願日： 2009年08月21日
公開日（公表日）： 2010年04月02日
要約：
【課題】大口径アンテナを用いた場合であっても、アンテナおよび負荷部分(プラズマ)への電力伝達効率が高く、電力供給の均一性の高いマイクロ波導入機構を提供すること。【解決手段】マイクロ波導入機構43は、マイクロ波をチャンバ1内に放射する平面アンテナ54を有するアンテナ部45と、平面アンテナ54に接続され、平面アンテナ54へマイクロ波を導く同軸管50と、同軸管50に設けられた、インピーダンス調整を行うチューナ部44とを具備し、平面アンテナ54は、その面に、λg/4+δの整数倍の間隔で同心的に描いた複数の仮想円上にそれぞれ同じ長さで均等に2以上形成された円弧状をなす複数のスロット54aを有し、スロット54aは同じ開口角度Bで重なるように設けられている。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
チャンバ内にマイクロ波プラズマを形成するためのマイクロ波プラズマ源に用いられ、マイクロ波出力部から出力されたマイクロ波をチャンバ内に導入するマイクロ波導入機構であって、
マイクロ波を前記チャンバ内に放射する平面アンテナを有するアンテナ部と、
前記平面アンテナに接続され、前記平面アンテナへマイクロ波を導く、同軸構造をなすマイクロ波伝送部材と、
前記マイクロ波伝送部材に設けられた、インピーダンス調整を行うインピーダンス調整部と
を具備し、
前記インピーダンス調整部は、前記マイクロ波伝送部材に沿って移動可能な一対の誘電体からなるスラグを有し、
前記平面アンテナは、その面に、λg/4+δ(ただし、λgはマイクロ波の実効波長であり、δは0≦δ≦0.05λgの範囲を満たす値である)の整数倍の間隔で同心的に複数の仮想円を描いた場合に、各仮想円上に同じ長さで均等にn個(nは2以上)形成されたマイクロ波を放射する円弧状をなす複数のスロットを有し、前記スロットは、最内側の仮想円から最外側の仮想円まで同じ開口角度で重なるように設けられていることを特徴とするマイクロ波導入機構。
IPC (3件)：
H01L 21/306
, H01L 21/205
, H05H 1/46
H01L21/302 101D
, H01L21/205
, H05H1/46 B
5F004BB14
, 5F004BC03
, 5F004BD01
, 5F004BD04
, 5F004DA04
, 5F004DA23
, 5F045AA09
, 5F045DP03
, 5F045EF05
, 5F045EH02
, 5F045EH04
