特許
J-GLOBAL ID：201003058083347699
X線分析装置及びX線分析方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉浦 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-277732
公開番号（公開出願番号）：特開2010-071969
出願日： 2008年10月29日
公開日（公表日）： 2010年04月02日
要約：
【課題】 凹凸のある試料でも装置と試料との衝突を回避することが可能なX線分析装置及びX線分析方法を提供すること。【解決手段】 試料S上の照射ポイントに1次X線X1を照射するX線管球2と、試料Sから放出される特性X線及び散乱X線を検出し該特性X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号を出力するX線検出器3と、信号を分析する分析器4と、試料Sを載置する試料ステージ1と、該試料ステージ1上の試料SとX線管球2及びX線検出器3とを相対的に移動可能な移動機構6と、試料Sの最大高さを測定可能な高さ測定機構7と、測定した試料Sの最大高さに基づいて移動機構6を制御して試料SとX線管球2及びX線検出器3との距離を調整する制御部8と、を備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、
前記試料から放出される特性X線及び散乱X線を検出し該特性X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号を出力するX線検出器と、
前記信号を分析する分析器と、
前記試料を載置する試料ステージと、
該試料ステージ上の前記試料と前記放射線源及び前記X線検出器とを相対的に移動可能な移動機構と、
前記試料の最大高さを測定可能な高さ測定機構と、
測定した前記試料の最大高さに基づいて前記移動機構を制御して前記試料と前記放射線源及び前記X線検出器との距離を調整する制御部と、を備えていることを特徴とするX線分析装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (21件)：
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001BA05
, 2G001BA14
, 2G001CA01
, 2G001DA05
, 2G001EA03
, 2G001FA16
, 2G001FA30
, 2G001GA04
, 2G001GA06
, 2G001GA08
, 2G001HA05
, 2G001JA11
, 2G001JA12
, 2G001JA20
, 2G001KA01
, 2G001LA11
, 2G001PA07
, 2G001PA11
, 2G001PA14
出願人引用 (6件)
-
特開平04-175648号公報(特許請求の範囲、第3図)
-
X線分析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-226966
出願人：株式会社島津製作所
-
分析装置及び検査方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-321007
出願人：富士通株式会社
全件表示
審査官引用 (5件)
-
X線分析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-226966
出願人：株式会社島津製作所
-
分析装置及び検査方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-321007
出願人：富士通株式会社
-
蛍光X線分析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-155674
出願人：株式会社島津製作所
全件表示
前のページに戻る
