特許

J-GLOBAL ID：201003058417406861

通電試験用プローブ、プローブカードおよびその製造方法

発明者： 神 幹範 ,  田村 剛大
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-184150
公開番号（公開出願番号）：特開2010-025588
出願日： 2008年07月15日
公開日（公表日）： 2010年02月04日
要約：

【課題】プローブを狭ピッチで基板に接合する際に、レーザー光の熱により生じる隣り合うプローブの位置ずれを防止すること。【解決手段】通電試験用プローブ(16)は、板状の接続部(22a)を有し該接続部の端面がプローブ基板への接続面となるプローブ本体と、前記接続部の少なくとも一方の側面から板厚方向へ伸び、前記プローブ基板への接続面となる端面を有するフット部(42)とを含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

板状の接続部を有し該接続部の端面がプローブ基板への接続面となるプローブ本体と、前記接続部の少なくとも一方の側面から板厚方向へ伸び、前記プローブ基板への接続面となる端面を有するフット部とを含む、通電試験用プローブ。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R1/073 D ,  G01R31/26 J ,  H01L21/66 B

Fターム (15件)：

2G003AA10 ,  2G003AG03 ,  2G003AG04 ,  2G011AA04 ,  2G011AA15 ,  2G011AB01 ,  2G011AB10 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 密封装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-198100   出願人：エヌオーケー株式会社
• コンタクトピンのはんだ付け方法およびコンタクトピン
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-086191   出願人：安藤電気株式会社