特許
J-GLOBAL ID：201003059649795437

トリクロロシランの製造方法

発明者：
ベルンハルト プフリューグラー

ベルンハルト プフリューグラー について

, 
ローベルト リング

ローベルト リング について


出願人/特許権者：
ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト

ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト について


代理人 (9件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  杉本 博司 ,  高橋 佳大 ,  星 公弘 ,  二宮 浩康 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-533782
公開番号（公開出願番号）：特表2010-507552
出願日： 2007年10月12日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：
テトラクロロシランを含有する原料ガスを900°C〜1300°Cの温度で、水素を含有する原料ガスとを反応させて、トリクロロシランを含有する生成物混合物を製造する方法において、反応を原料ガスの超臨界圧で行うことを特徴とする、トリクロロシランの製造方法。
請求項（抜粋）：
テトラクロロシランを含有する原料ガスを900°C〜1300°Cの温度で、水素を含有する原料ガスとを反応させて、トリクロロシランを含有する生成物混合物を製造する方法において、反応を原料ガスの超臨界圧で行うことを特徴とする、トリクロロシランの製造方法。
IPC (1件)：
C01B 33/107
FI (1件)：
C01B33/107
Fターム (5件)：
4G072AA14 ,  4G072GG03 ,  4G072HH08 ,  4G072JJ01 ,  4G072UU02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (7件)
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