酸化物半導体ナノ繊維を利用した超高感度ガスセンサー及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：谷義一 , 阿部和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-172320
公開番号（公開出願番号）：特開2010-139497
出願日： 2009年07月23日
公開日（公表日）： 2010年06月24日
要約：

【課題】特定ガスに高感応性を有するナノサイズの金属酸化物または金属触媒粒子が塗布された酸化物半導体ナノ繊維を利用したガスセンサーを提供する。【解決手段】本発明によるガスセンサーは、絶縁基板と、該絶縁基板の上部に形成された金属電極と、該金属電極の上部に形成された高感応性を有するナノ粒子が塗布された酸化物半導体ナノ繊維層とを含む。本発明によれば、酸化物を電気放射用溶液で製造した後、これを電気放射し、熱処理して酸化物半導体ナノ繊維を形成し、次いで、大きい比表面積を有するナノ繊維の表面に特定ガスに高感応性を有するナノサイズの金属酸化物または金属触媒粒子を部分的に塗布し、超高感度、高選択性、高応答性、長期安定性の特性を有する酸化物半導体ナノ繊維ガスセンサーを製作することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、前記絶縁基板の上部に形成された金属電極と、前記金属電極の上部に形成された高感応性を有するナノ粒子が塗布された金属酸化物半導体ナノ繊維層とを含む超高感度ガスセンサー。

IPC (7件)：

G01N 27/12 , C01G 1/00 , C01G 1/02 , C01G 19/02 , C01G 9/02 , C01B 13/18 , B82B 1/00

FI (8件)：

G01N27/12 B , C01G1/00 B , C01G1/02 , C01G19/02 A , C01G9/02 A , C01B13/18 , B82B1/00 , G01N27/12 M

Fターム (30件)：

2G046AA07 , 2G046AA13 , 2G046BA03 , 2G046BA06 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046FE06 , 2G046FE11 , 2G046FE12 , 2G046FE15 , 2G046FE25 , 2G046FE28 , 2G046FE39 , 2G046FE44 , 2G046FE45 , 2G046FE48 , 2G046FE49 , 4G042DA01 , 4G042DA02 , 4G042DB10 , 4G042DB31 , 4G042DC03 , 4G042DD13 , 4G042DE03 , 4G042DE07 , 4G042DE14 , 4G047AA02 , 4G047AB02 , 4G047AC03 , 4G047AD04

引用特許：

審査官引用 (6件)

常温に近い温度で製造され及び動作する、化学的検出材料としての半導体材料の用途
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-547926 出願人：ソニーインターナショナル(ヨーロッパ)ゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング, マックス-プランク-ゲゼルシャフトツゥア-フェデルゥンデルヴィッセンシャフテンエーフォー
水素ガス検知センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-358749 出願人：松下電器産業株式会社
ナノ粒子/ナノファイバによる化学センサ、そのセンサのアレイ、その使用及び製造方法、並びに検体の検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-317198 出願人：ソニードイチュラントゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング

全件表示

前のページに戻る