特許

J-GLOBAL ID：200903052301607747

超高感度の金属酸化物ガスセンサ及びその製造方法

発明者： キム イル-ドー ,  ホン ジェ-ミン ,  キム ドン-ヨウン ,  ジョ ソン-ム ,  アブナー ロスチャイルド ,  ハリー エル.トゥラー
出願人/特許権者： コリア インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジー
代理人 (4件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  永坂 友康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-348213
公開番号（公開出願番号）：特開2007-171207
出願日： 2006年12月25日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：

【課題】熱圧着工程により金属酸化物の微細構造が速い応答速度と高感度センシングのためのガス拡散性及び比表面積が大幅に増加したナノロッド及び/又はナノグレイン構造を有し、多孔性の金属酸化物繊維とセンサ基板との接着性を増大し得る超高感度の金属酸化物ガスセンサ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】センサ電極と、該センサ電極上に形成され、単結晶のナノロッドを含むナノ繊維のネットワーク構造を有する多孔性金属酸化物薄層とを金属酸化物ガスセンサが備えるように構成する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

センサ電極と、 該センサ電極上に形成され、単結晶のナノロッドを含むナノ繊維のネットワーク構造を有する多孔性金属酸化物薄層と、 を備えることを特徴とする超高感度の金属酸化物ガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (1件)：

G01N27/12 C

Fターム (39件)：

2G046AA05 ,  2G046AA07 ,  2G046AA10 ,  2G046AA11 ,  2G046AA13 ,  2G046AA14 ,  2G046AA19 ,  2G046AA23 ,  2G046AA24 ,  2G046AA25 ,  2G046AA26 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BC05 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046FB02 ,  2G046FE02 ,  2G046FE03 ,  2G046FE07 ,  2G046FE09 ,  2G046FE10 ,  2G046FE11 ,  2G046FE12 ,  2G046FE15 ,  2G046FE16 ,  2G046FE18 ,  2G046FE22 ,  2G046FE24 ,  2G046FE25 ,  2G046FE29 ,  2G046FE31 ,  2G046FE34 ,  2G046FE35 ,  2G046FE39 ,  2G046FE40 ,  2G046FE44 ,  2G046FE45 ,  2G046FE48

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ガス検出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-036648   出願人：徳山曹達株式会社
• 常温に近い温度で製造され及び動作する、化学的検出材料としての半導体材料の用途
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-547926   出願人：ソニーインターナショナル(ヨーロッパ)ゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング, マックス-プランク-ゲゼルシャフトツゥア-フェデルゥンデルヴィッセンシャフテンエーフォー
• 無水アンチモン酸亜鉛半導体ガスセンサー及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-059430   出願人：日産化学工業株式会社
• ニオイ識別用センサアレイ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-162470   出願人：新コスモス電機株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• 光電気化学エッチングによる酸化チタンナノロッド構造の創製