特許
J-GLOBAL ID：201003062488619286
光学特性計測装置、光学特性計測方法、および光学特性計測装置の校正方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大渕 美千栄
, 布施 行夫
, 都築 美奈
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-325444
公開番号（公開出願番号）：特開2010-145332
出願日： 2008年12月22日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：
【課題】機械駆動を必要とせず測定対象の光学特性を高精度に計測することが可能な光学特性計測装置、光学特性計測方法および光学特性計測装置の校正方法を提供すること。【解決手段】光源12と、第1及び第2の偏光変調器20、40と、測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部50と、測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき試料30のミュラー行列の要素を算出する演算処理部70とを含み、第1の偏光変調器20は、第1の偏光子21、第1及び第2の液晶素子22、24を含み、第2の偏光変調器40は、第2の偏光子46、第3及び第4の液晶素子42、44を含み、光源12から出射された光を、第1の偏光子21、第1及び第2の液晶素子22、24を介して試料30に入射させ、試料30によって変調された光を、第3及び第4の液晶素子42、44及び第2の偏光子46を介して受光部52に入射させるように構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定対象の光学特性を計測する光学特性計測装置であって、
所定の波長の光を出射する光源と、
第1及び第2の偏光変調器と、
前記第1及び第2の偏光変調器と前記測定対象で前記光を変調させることによって得られる測定光を受光する受光部と、を含む光学系と、
前記測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部と、
前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う演算処理部とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子、第1及び第2の液晶素子を含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子、第3及び第4の液晶素子を含み、
前記光源から出射された光を、前記第1の偏光子、前記第1の液晶素子及び前記第2の液晶素子を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の液晶素子、前記第4の液晶素子及び前記第2の偏光子を介して前記受光部に入射させるように構成された光学特性計測装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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