無機薄膜及びその製造方法、並びにガラス

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-325532
公開番号（公開出願番号）：特開2010-037648
出願日： 2008年12月22日
公開日（公表日）： 2010年02月18日
要約：

【課題】撥水性、滑水性、耐久性に優れた薄膜を提供する。【解決手段】表面粗さ(Ra)が2nm以下であり、水に対する接触角が30°以上であり、水滴転落角が40°以下である。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

表面粗さ(Ra)が2nm以下であり、水に対する接触角が30°以上であり、水滴転落角が40°以下である無機薄膜。

IPC (5件)：

C23C 14/08 , C03C 17/245 , C23C 14/58 , B01J 35/02 , C09K 3/18

FI (5件)：

C23C14/08 E , C03C17/245 A , C23C14/58 Z , B01J35/02 J , C09K3/18 101

Fターム (31件)：

4G047CA02 , 4G047CB04 , 4G047CC03 , 4G047CD02 , 4G059AA01 , 4G059AB09 , 4G059AC22 , 4G059EA04 , 4G059EB04 , 4G169AA02 , 4G169BA04A , 4G169BA04B , 4G169BA48A , 4G169HA09 , 4G169HA20 , 4G169HB01 , 4G169HC17 , 4G169HD13 , 4G169HE06 , 4H020BA03 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA48 , 4K029BB08 , 4K029CA06 , 4K029DC03 , 4K029DC35 , 4K029DC39 , 4K029EA01 , 4K029EA03 , 4K029GA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

滑水性表面を有する部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-057039 出願人：東陶機器株式会社
滑水性膜およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-294636 出願人：株式会社先端科学技術インキュベーションセンター

審査官引用 (4件)

TiO2スパッタコーティング膜の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-047603 出願人：独立行政法人物質・材料研究機構
チタン酸化物薄膜を基板の表面に形成する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-246810 出願人：国立大学法人京都大学
光触媒膜付きガラスおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-151203 出願人：セントラル硝子株式会社

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