特許
J-GLOBAL ID:201003066011647887

半導体装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-195323
公開番号(公開出願番号):特開2010-087483
出願日: 2009年08月26日
公開日(公表日): 2010年04月15日
要約:
【課題】広い電流密度範囲で、動作電圧の小さい半導体装置を得ることを目的とする。【解決手段】本発明における半導体装置10は、第1導電型の半導体基板1と、半導体基板1上に半導体基板1より低ドーピング濃度で形成された第1導電型の半導体層2と、半導体層2の表層に所定間隔を有して並置された第2導電型の第1の半導体領域3と、半導体層2および第1の半導体領域3上に形成され、半導体層2とはショットキ接触、第1の半導体領域3とはオーミック接触する第1の電極5と、半導体基板1の裏面に形成された第2の電極6と、を備え、第1の半導体領域3の幅Wp(μm)と半導体層2のドーピング濃度N(cm-3)とが、Wp>-72×ln(N)+2685の関係を有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1導電型の半導体基板と、 前記半導体基板上に前記半導体基板より低ドーピング濃度で形成された第1導電型の半導体層と、 前記半導体層の表層に所定間隔を有して並置された第2導電型の第1の半導体領域と、 前記半導体層および前記第1の半導体領域上に形成され、前記半導体層とはショットキ接触、前記第1の半導体領域とはオーミック接触する第1の電極と、 前記半導体基板の裏面に形成された第2の電極と、を備え、 前記第1の半導体領域の幅Wp(μm)と前記半導体層のドーピング濃度N(cm-3)とが、 Wp>-72×ln(N)+2685 の関係を有する、半導体装置。
IPC (3件):
H01L 29/47 ,  H01L 29/872 ,  H01L 29/861
FI (3件):
H01L29/48 F ,  H01L29/91 F ,  H01L29/91 D
Fターム (4件):
4M104AA03 ,  4M104FF32 ,  4M104FF35 ,  4M104GG03
引用特許:
審査官引用 (8件)
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引用文献:
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