特許
J-GLOBAL ID:201003068042423114

感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、パターン形成方法、及び当該感光性樹脂組成物を用いた物品、並びに光潜在性樹脂硬化促進剤

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 岸本 達人 ,  山下 昭彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-220491
公開番号(公開出願番号):特開2010-254946
出願日: 2009年09月25日
公開日(公表日): 2010年11月11日
要約:
【課題】感度に優れ、高分子前駆体の種類を問わず、露光部と未露光部とで大きな溶解性コントラストが得られる感光性樹脂組成物及びその様な感光性樹脂組成物に利用可能な光潜在性樹脂硬化促進剤を提供する。【解決手段】塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体、及び、下記式(1)で表わされ且つアミド結合を形成可能なNH基を1つ有する2級アミン及び/又は複素環式化合物を電磁波の照射と加熱により発生する光潜在性樹脂硬化促進剤を含有する、感光性樹脂組成物である。(各符号は、明細書中で定義したとおりである。)【選択図】なし
請求項(抜粋):
塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体、及び、下記式(1)で表わされ且つアミド結合を形成可能なNH基を1つ有する2級アミン及び/又は複素環式化合物を電磁波の照射と加熱により発生する光潜在性樹脂硬化促進剤を含有する、感光性樹脂組成物。
IPC (9件):
C08L 101/00 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  C07C 235/34 ,  C08K 5/17 ,  C07D 295/18 ,  C07D 211/16 ,  C07D 233/60 ,  C07D 211/22
FI (9件):
C08L101/00 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/038 504 ,  C07C235/34 ,  C08K5/17 ,  C07D295/18 Z ,  C07D211/16 ,  C07D233/60 104 ,  C07D211/22
Fターム (33件):
2H125AE15P ,  2H125AG00P ,  2H125AM73P ,  2H125AM86P ,  2H125AN84P ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC12 ,  4C054AA02 ,  4C054BB03 ,  4C054CC04 ,  4C054DD01 ,  4C054DD04 ,  4C054DD08 ,  4C054EE01 ,  4C054FF01 ,  4C054FF04 ,  4C054FF12 ,  4H006AA01 ,  4H006AB40 ,  4H006AB76 ,  4H006AB81 ,  4H006AB92 ,  4H006BJ50 ,  4H006BN30 ,  4H006BV53 ,  4J002AA001 ,  4J002CM031 ,  4J002CM041 ,  4J002CP031 ,  4J002EN006 ,  4J002FD156 ,  4J002GP03
引用特許:
審査官引用 (4件)
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