特許

J-GLOBAL ID：201003068308081435

超音波モータ

発明者： 國井 康晴 ,  飯塚 浩二郎 ,  矢野 良平
出願人/特許権者： 学校法人 中央大学
代理人 (2件)： 宮園 純一 ,  宮園 靖夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-333312
公開番号（公開出願番号）：特開2010-158083
出願日： 2008年12月26日
公開日（公表日）： 2010年07月15日
要約：

【課題】高真空中においても優れた耐久性能を有する超音波モータを提供する。【解決手段】超音波モータのロータ12の接触面12aに、シリコンの非晶質薄膜から成る下地層14aとこの下地層14aの表面に形成される銀薄膜から成る摩擦層14bとを有する、適度な摩擦係数を有し、かつ、潤滑性にも優れた摩擦材層14を形成することで、ステータ11の弾性体15に設けられた櫛歯15kとロータ12との接触によって発生するロータ12表面及びステータ11表面の凹凸を大幅に低減するようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電体と弾性体とを有するステータと、 前記ステータと接触して回転するロータとを備えた超音波モータであって、 前記ステータ又は前記ロータが接触面に摩擦材層を備え、 前記摩擦材層がシリコン又は炭素の結晶質薄膜又は非晶質膜からなる下地層と、 前記下地層の表面に形成される摩擦層とを有し、 前記摩擦層が銀薄膜であることを特徴とする超音波モータ。

IPC (1件)：

H02N 2/00

FI (1件)：

H02N2/00 C

Fターム (10件)：

5H680AA12 ,  5H680BB05 ,  5H680BB12 ,  5H680BB15 ,  5H680BC08 ,  5H680CC03 ,  5H680DD02 ,  5H680DD13 ,  5H680DD65 ,  5H680GG25

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 超音波モータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-273541   出願人：ペンタックス株式会社
• 超音波モータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-154700   出願人：三菱マテリアル株式会社