特許
J-GLOBAL ID：201003069017768324

搬送機構

発明者：
石井 茂

石井 茂 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-288459
公開番号（公開出願番号）：特開2010-118376
出願日： 2008年11月11日
公開日（公表日）： 2010年05月27日
要約：
【課題】小寸法デバイスや表面に凹凸の形成されたデバイスの場合でも複数個のデバイスを安定して搬送できる搬送機構を提供する。【解決手段】搬送機構(15)はケーシング(48)とこのケーシング(48)内に収容された可動パッド(62)と可動パッド移動手段(68)とを備えている。分割後の複数個のデバイス(30)をケーシング(48)の搬出・搬入位置(64)に位置づけられた可動パッド(62)の収容凹部(70)に収容した後に、可動パッド(62)と共に保持位置(66)に移動させ、収容凹部(70)とケーシング(48)の下面壁(74)との間にデバイス(30)を保持して、収容トレイ(14)まで搬送し、収容トレイ(14)の開口部(82)の真上にケーシング(48)の搬入・搬出開口(82)を位置づけ、可動パッド(62)を搬入・搬出位置(64)へ移動させる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
支持板の上面に保持された複数個のデバイスを該支持板の該上面から収容トレイに搬送するための搬送機構にして、 昇降自在に且つ水平方向に移動自在に装着されたケーシングと、該ケーシングを昇降動せしめるためのケーシング昇降動手段と、該ケーシングを水平方向に移動せしめるケーシング移動手段と、搬入・搬出位置と保持位置との間を水平方向に移動自在に該ケーシング内に装着された可動パッドと、該可動パッドを移動せしめるための可動パッド移動手段とを具備し、 該可動パッドは、該複数個のデバイスを収容するための下面が開放された少なくとも1個の収容凹部を有し、該ケーシングの下面は、該支持板に対応した形状の搬入・搬出開口が形成されている下面壁によって規定されており、 該可動パッドを該搬入・搬出位置に位置せしめ、該ケーシングの該搬入・搬出開口を該複数個のデバイスの直上に位置せしめ、該ケーシングを下降せしめると、該支持板の該上面に保持されている複数個のデバイスが該可動パッドの該収容凹部内に収容され、しかる後に該収容パッドを該保持位置に移動せしめると、該支持板の該上面に保持されている複数個のデバイスが該可動パッドと共に移動せしめられて、該可動パッドの該収容凹部と該ケーシングの該下面壁とによって規定される閉空間内に保持され、 該ケーシングを上昇せしめると共に水平方向に移動せしめて、該ケーシングの該搬入・排出開口を該収容トレイの直上に位置せしめ、しかる後に該可動パッドを該保持位置から該搬入・搬出開口に移動せしめると、該可動パッドの該収容凹部内に収容されている複数個のデバイスが該可動パッドと共に移動せしめられ、該ケーシングの該搬入・搬出開口を通して該収容トレイ内に落下せしめられる、 ことを特徴とする搬送機構。
IPC (1件)：
H01L 21/301
FI (1件)：
H01L21/78 N
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM