特許

J-GLOBAL ID：201003069784627345

プロジェクタ

発明者： 澤木 大輔
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-038479
公開番号（公開出願番号）：特開2010-160504
出願日： 2010年02月24日
公開日（公表日）： 2010年07月22日
要約：

【課題】容易かつ効率的に、優れた光学特性を有するワイヤーグリッド偏光子の製造方法等を提供する。【解決手段】ワイヤーグリッド偏光子60の製造方法において、基板上に多数の略平行な直線状の金属突起体9aと、金属突起体9aを覆う保護層29aと、を有するワイヤーグリッド偏光子60の製造方法において、金属突起体9a上に保護層29aを斜方成膜しつつ、金属突起体9a同士の間に空洞部9bを形成する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板上に多数の略平行な直線状の金属突起体と、前記金属突起体を覆う保護層と、を有するワイヤーグリッド偏光子の製造方法において、 前記金属突起体上に前記保護層を斜方成膜しつつ、前記金属突起体同士の間に空洞部を形成する工程を有することを特徴とするワイヤーグリッド偏光子の製造方法。

IPC (2件)：

G02B 5/30 ,  G02F 1/133

FI (2件)：

G02B5/30 ,  G02F1/1335 510

Fターム (30件)：

2H149AA17 ,  2H149AB01 ,  2H149AB26 ,  2H149BA23 ,  2H149BB28 ,  2H149CA03 ,  2H149EA12 ,  2H149FA41W ,  2H149FA41X ,  2H149FC02 ,  2H191FA11X ,  2H191FA11Z ,  2H191FA15Y ,  2H191FA28Y ,  2H191FA37Z ,  2H191FA40Y ,  2H191FA56X ,  2H191FA56Z ,  2H191FA58X ,  2H191FA58Z ,  2H191FA87Z ,  2H191FB14 ,  2H191FC10 ,  2H191FC36 ,  2H191GA04 ,  2H191GA19 ,  2H191LA13 ,  2H191LA21 ,  2H191LA22 ,  2H191MA13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• サブミクロンの中空空間を含む成分
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-568449   出願人：ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト
• 液晶装置用基板およびその製造方法、液晶装置、投射型表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-370146   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 回折格子成形用転写型
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-180924   出願人：日本板硝子株式会社
• 偏光子、偏光子の製造方法及び投射型液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-409543   出願人：日立マクセル株式会社