特許
J-GLOBAL ID：201003070851255901

X線拡大撮影用徴小焦点電子顕微鏡アダプター

発明者：
田中 成泰

田中 成泰 について

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小山 修司

小山 修司 について

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前田 尚利

前田 尚利 について


出願人/特許権者：
前田 尚利

前田 尚利 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-251632
公開番号（公開出願番号）：特開2010-051769
出願日： 2008年08月29日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：
【課題】 電子顕微鏡の超微小焦点より発生するX線を用いて、X線拡大撮影を行うこと。【解決手段】 電子顕微鏡で用いられる電子線の超微小焦点の位置に、台形の金属ターゲットを設置し、加速された電子をターゲットにあてることにより、発生する制動X線を、電子顕微鏡の加速筒(鏡筒)と直角方向に置かれたアダプター内に導き、ターゲットの近傍に設置された試料に当てる。透過したX線は、ターゲットから遠くに置かれたX線検出器によって拡大画像を得る。照射する電子線の焦点のターゲット上の位置を変えることにより、観察する試料部位と拡大率を決める。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡の電子ビームを金属ターゲット上の小焦点に絞り、発生した微小焦点からのX線を電子顕微鏡の加速筒(鏡筒)と直角方向に取り出すこと。
IPC (4件)：
A61B 6/00 ,  G01N 23/04 ,  H05G 1/00 ,  H01J 37/252
FI (4件)：
A61B6/00 300Z ,  G01N23/04 ,  H05G1/00 E ,  H01J37/252 A
Fターム (22件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA20 ,  2G001KA03 ,  2G001LA01 ,  2G001LA11 ,  4C092AA01 ,  4C092AB04 ,  4C092AC01 ,  4C092AC08 ,  4C092BD04 ,  4C092BD05 ,  4C093CA02 ,  4C093DA06 ,  4C093EA04 ,  5C033PP02 ,  5C033PP04 ,  5C033PP06 ,  5C033PP08
引用特許：
出願人引用 (3件)

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