両面研磨装置および加工方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森田雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-071888
公開番号（公開出願番号）：特開2010-221348
出願日： 2009年03月24日
公開日（公表日）： 2010年10月07日
要約：

【課題】トレードオフの関係にある装置の大型化と加工品質の高精度化(厚み精度、平坦度)に加え、研磨工程自動化も併せて実現する3-ウェイの遊星歯車方式の両面研磨装置および加工方法を提供する。【解決手段】本発明の両面研磨装置は、上定盤9に取り付けられたリング8および吊り板10に複数個のプーリー7,9を配設し、上定盤9の垂直方向荷重を支持するようにプーリー7,9間にエンドレス状のワイヤロープ12を張架するとともに張力センサ17からの出力に基づいて上定盤9を上下させて最適な荷重でワーク5に接するようにし、ワーク5に対する上定盤9の追随性を向上して装置の大型化と加工品質の高精度化を実現する。また、張力センサ17からの出力に基づいてワーク5に上定盤を着盤できるようにして研磨工程自動化も実現する。また、このような両面研磨装置による加工方法とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

上定盤昇降部により上定盤が昇降し、下定盤回転駆動部により下定盤が回転駆動し、内歯車回転駆動部により内歯車が回転駆動し、太陽歯車回転駆動部により太陽歯車が回転駆動するようになされており、外周に歯面を形成するとともに回転方向に複数個のワーク保持孔を穿設したキャリアを、水平面内に配置された太陽歯車と内歯車との間に複数個噛み合わせておき、このワーク保持孔に挿入されたワークの表裏両面を下定盤と上定盤との間に挟み込んだ状態で、太陽歯車と内歯車とを回転させてキャリアを遊星運動させるとともに、下定盤をキャリアに対して相対的に回転させてワークをラッピングまたはポリッシングする3-ウェイの遊星歯車方式の両面研磨装置において、前記上定盤昇降部により上下方向へ移動するようになされる吊り板と、前記吊り板の側面から突出する複数の回転軸に軸支される第1のプーリー群と、前記上定盤に固定される支持部材と、前記支持部材の側面から突出する複数の回転軸に軸支される第2のプーリー群と、前記上定盤の垂直方向の荷重を分割して均等に支持するように前記第1のプーリー群を構成するプーリと前記第2のプーリー群を構成するプーリとの間に張架されるエンドレス状のワイヤロープと、前記ワイヤロープの張力を計測する張力センサと、を備えたことを特徴とする両面研磨装置。

IPC (4件)：

B24B 37/04 , B24B 37/00 , H01L 21/304 , B24B 49/16

FI (6件)：

B24B37/04 F , B24B37/00 B , B24B37/04 D , H01L21/304 621A , H01L21/304 622R , B24B49/16

Fターム (11件)：

3C034CA16 , 3C034CB14 , 3C058AA07 , 3C058AA12 , 3C058AA14 , 3C058BA01 , 3C058BA05 , 3C058BA06 , 3C058BC02 , 3C058CB01 , 3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (2件)

研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-240146 出願人：株式会社住友金属ファインテック
浮遊砥粒式研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-262624 出願人：株式会社村田製作所

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