特許
J-GLOBAL ID：201003071923379224
走査電子顕微鏡に用いられるレシピの診断装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 学
, 戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-252151
公開番号（公開出願番号）：特開2010-087070
出願日： 2008年09月30日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：
【課題】 本発明は、プロセス変動等によるレシピのエラー発生要因を速やかに特定する走査電子顕微鏡に用いられるレシピの診断装置の提供を目的とする。【解決手段】 上記目的を達成するための一態様として、走査電子顕微鏡を動作させるレシピの診断装置であって、当該レシピにその条件が設定されるパターンマッチングの一致度を示すスコア、当該パターンマッチング前後の座標ずれ、或いはオートフォーカス前後のレンズの変動量に関する情報等の推移を、表示装置に表示させるプログラムを備えた診断装置を提案する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
走査電子顕微鏡を動作させるためのレシピを診断する診断装置であって、前記レシピの設定項目に関する情報の推移を表示装置に表示させるプログラムを備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡に用いられるレシピの診断装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, H01J 37/24
, H01J 37/22
H01L21/66 J
, H01L21/66 Z
, H01J37/24
, H01J37/22 502H
4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA39
, 4M106DB05
, 4M106DB18
, 4M106DB20
, 4M106DJ18
, 4M106DJ19
, 4M106DJ23
