特許
J-GLOBAL ID：201003072208606775

除電装置

発明者：
石黒 義久

石黒 義久 について


出願人/特許権者：
株式会社ライフ技術研究所

株式会社ライフ技術研究所 について

, 
ケイ・アンド・アイ有限会社

ケイ・アンド・アイ有限会社 について


代理人 (2件)： 大山 健次郎 ,  小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-261075
公開番号（公開出願番号）：特開2010-092695
出願日： 2008年10月07日
公開日（公表日）： 2010年04月22日
要約：
【課題】 ガラス基板やウェーハの表面の帯電を効果的に除去する除電装置を提供する。【解決手段】 減圧雰囲気に維持された直管型チューブ3内に電子ビーム6を放出するエミッタ4を配設し、また電子ビーム6の照射を受けて軟X線を発生するタングステンからなるターゲット膜7をチューブ内面に形成した除電装置であって、前記チューブには多数の窓部8が形成され、この窓部は前記ターゲット膜7にて覆われ、この窓部を覆うターゲット膜はベリリウム(Be)膜9で外側から保護されている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
減圧雰囲気に維持されたチューブ内に電子ビームを放出するエミッタを配設し、前記電子ビームの照射を受けて軟X線を発生するターゲット膜を前記チューブ内面に形成した除電装置において、前記チューブには複数の窓部が形成され、この窓部は前記ターゲット膜にて覆われ、この窓部を覆うターゲット膜はベリリウム(Be)膜で外側から保護されていることを特徴とする除電装置。
IPC (1件)：
H05F 3/06
FI (1件)：
H05F3/06
Fターム (3件)：
5G067AA23 ,  5G067AA42 ,  5G067DA24
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)
  • 軟X線発生装置および除電装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-298043   出願人：高砂熱学工業株式会社, カシオ計算機株式会社, 財団法人高知県産業振興センター
  • 静電気除去装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-134451   出願人：ダイヤライトジャパン株式会社, 石黒義久

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