静電気除去装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-134451
公開番号（公開出願番号）：特開2008-288158
出願日： 2007年05月21日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：

【課題】大型の静電気除去対象物であっても設備が大型化せず静電気除去効果に優れ、そのうえ軟X線発生に際して発熱しないで扱い易い静電気除去装置を提供すること。【解決手段】本静電気除去装置20は、真空容器10の容器壁に軟X線照射窓12を設け、真空容器10内部ではターゲット14を軟X線照射窓12に対向配置し、ターゲット14に対向して一方向長手ワイヤ状に延びる電界放射型の電子エミッタ16を配置した構成。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空容器の容器壁に軟X線を透過することができる膜厚の薄膜からなる軟X線照射窓を設け、真空容器内部ではターゲットである陽極と、電界放射型でワイヤ状の電子エミッタとを対向配置してなり、ターゲットと電子エミッタとの間での電界印加で電子エミッタから電子放出し、この放出電子をターゲットに衝突させて該ターゲットから軟X線を発生させ、この発生した軟X線を上記軟X線照射窓から外部に静電気除去用軟X線として出射する構成となっている、ことを特徴とする静電気除去装置。

IPC (1件)：

H05F 3/06

FI (1件)：

H05F3/06

Fターム (3件)：

5G067AA42 , 5G067DA01 , 5G067DA24

引用特許：

出願人引用 (3件)

軟X線を利用した静電気除去装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2005-507781 出願人：スンチェ・ハイテック・カンパニー・リミテッド
液晶ディスプレイ基板処理方法と、その方法を利用した処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-074774 出願人：株式会社レヨーン工業
基板の洗浄乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-183579 出願人：株式会社飯沼ゲージ製作所, 浜松ホトニクス株式会社

審査官引用 (6件)

光除電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-243494 出願人：株式会社キーエンス
X線発生装置及び照射ユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-160578 出願人：浜松ホトニクス株式会社
X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-062462 出願人：浜松ホトニクス株式会社

全件表示

前のページに戻る