特許

J-GLOBAL ID：200903049210617927

軟X線発生装置および除電装置

発明者： 稲葉 仁 ,  大久保 義典 ,  八木 祥行 ,  佐藤 俊一 ,  西村 一仁
出願人/特許権者： 高砂熱学工業株式会社 ,  カシオ計算機株式会社 ,  財団法人高知県産業振興センター
代理人 (4件)： 金本 哲男 ,  亀谷 美明 ,  萩原 康司 ,  和田 憲治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-298043
公開番号（公開出願番号）：特開2007-305565
出願日： 2006年11月01日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：

【課題】軟X線を発生させる装置において、発熱量を抑え、寿命を延ばす。【解決手段】電子放出部であるエミッタ13とターゲット15を備えた除電装置において、粒径が2nm〜100nmのダイヤモンド粒子からなる薄膜がエミッタ13の表面に形成されている。この薄膜は、XRD測定においてダイヤモンドのXRDパターンを有し、かつラマン分光測定を行った際に、膜中のsp3結合成分とsp2結合成分の比が、2.5〜2.7:1であることを特徴としている。直流電源14から電圧がエミッタ13に印加されると、しきい値電界強度が1V/μm以下で、エミッタか13から従来よりも多数の電子が放出され、しかもエミッタ13の温度も殆ど上昇せず、長寿命化が図れる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

電子放出部とターゲットを備えた軟X線の発生装置において、前記電子放出部の表面は、粒径が2nm〜100nmのダイヤモンド粒子からなる薄膜で構成されていることを特徴とする、軟X線発生装置。

IPC (6件)：

H01J 35/06 ,  H01J 35/08 ,  H01J 35/16 ,  H01J 1/304 ,  H05F 3/06 ,  H05G 1/00

FI (6件)：

H01J35/06 B ,  H01J35/08 F ,  H01J35/16 ,  H01J1/30 F ,  H05F3/06 ,  H05G1/00 D

Fターム (9件)：

4C092AA01 ,  4C092AB02 ,  4C092AC08 ,  4C092BD04 ,  5C135AA09 ,  5C135AB06 ,  5C135GG20 ,  5G067AA42 ,  5G067DA24

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特許2749202
  
• 燃料電池のセパレータ装置および燃料系装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-349337   出願人：日産自動車株式会社
• X線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-083390   出願人：理学電機株式会社
• X線発生装置用フィラメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-019910   出願人：理学電機株式会社

審査官引用 (2件)

• トータルエアロゾル分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-310958   出願人：独立行政法人国立環境研究所
• 光除電装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-243494   出願人：株式会社キーエンス

引用文献：

審査官引用 (2件)

• 次世代情報デバイス用薄膜ナノ技術の開発, 200602
• "Electron field emission from carbon nanotubes and undoped nano-diamond"