特許
J-GLOBAL ID:201003074860251469
偏向ミラー、光走査装置、画像形成装置、および画像投影装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
本多 章悟
, 樺山 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-256271
公開番号(公開出願番号):特開2010-197994
出願日: 2009年11月09日
公開日(公表日): 2010年09月09日
要約:
【課題】駆動効率が良く、大振幅が得られる偏向ミラーを提供する。【解決手段】固定ベース40と、反射面を有するミラー部10と、ミラー部を揺動可能に支持する支持部材20と、固定ベースに対して支持部材の一部をその両側から支持する梁状部材30と、梁状部材30に固着された圧電部材32とからなり、梁状部材と圧電部材により圧電ユニモルフ構造もしくはバイモルフ構造を形成し、支持部材20を挟んで両側の梁状部材30を、同時に同一方向に駆動して、または互いに反対方向に駆動して、支持部材に前記ミラー部と垂直方向の振動、または回転方向の振動を加えることで、ミラー部を揺動させる偏向ミラーにおいて、前記圧電部材32が梁状部材30の長さの略三分の一以上の領域に配置されている構成とした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
固定ベースと、
反射面を有するミラー部と、
前記ミラー部を揺動可能に支持する支持部材と、
前記固定ベースに対して前記支持部材の一部を、その両側から支持する梁状部材と、
前記梁状部材に固着された圧電部材とからなり、
前記梁状部材と前記圧電部材により、圧電ユニモルフ構造、もしくはバイモルフ構造を形成し、前記支持部材を挟んで両側の梁状部材を、同時に同一方向に駆動して、または互いに反対方向に駆動して、前記支持部材に前記ミラー部と垂直方向の振動、または回転方向の振動を加えることで、前記ミラー部を揺動させる偏向ミラーにおいて、
前記圧電部材が前記梁状部材の長さの略三分の一以上の領域に配置されていることを特徴とする偏向ミラー。
IPC (4件):
G02B 26/10
, B41J 2/44
, H04N 1/036
, B81B 3/00
FI (5件):
G02B26/10 104Z
, G02B26/10 B
, B41J3/00 P
, H04N1/036 Z
, B81B3/00
Fターム (30件):
2C362BA17
, 2H045AB06
, 2H045AB13
, 2H045AB24
, 2H045AB26
, 2H045AB38
, 2H045AB81
, 2H045BA24
, 2H045BA32
, 3C081AA09
, 3C081AA13
, 3C081AA18
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081BA48
, 3C081BA55
, 3C081EA08
, 3C081EA11
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DB02
, 5C051DB08
, 5C051DB24
, 5C051DB30
, 5C051DC01
, 5C051DC07
, 5C051DE03
, 5C051DE26
, 5C051DE30
引用特許: