特許
J-GLOBAL ID：201003075279888690

光導波路デバイスおよびその製造方法

発明者：
杉山 昌樹

杉山 昌樹 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-168395
公開番号（公開出願番号）：特開2010-008751
出願日： 2008年06月27日
公開日（公表日）： 2010年01月14日
要約：
【課題】比較的簡単な構成および工程によって、基板上に並列して形成された2つの光導波路のうち一方の光導波路のみを切断する溝を有する光導波路デバイスの生産性を向上させる。 【解決手段】光導波路デバイスは、基板の上面に並列して形成された2つの光導波路のうち、一方の光導波路のみを切断する溝を有し、該溝は、基板の上面から底面まで貫通している。このような溝は、基板1の上面に並列して形成された2つの光導波路2,3のうち、切断しようとする一方の光導波路2が上側に、切断しない他方の光導波路3が下側に位置するように基板1の一方の側面を支持台4に固定し、ダイシングブレード5を基板1の底面側から上面側へと進行させることによって形成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電気光学効果を有する基板と、該基板の上面に並列して形成された第1光導波路および第2光導波路と、を備えた光導波路デバイスにおいて、 前記第1光導波路および前記第2光導波路のうち、前記第1光導波路のみを切断する溝を有し、 前記溝は、前記基板の前記第1光導波路側の側面に形成されて前記基板の上面から底面まで貫通していることを特徴とする光導波路デバイス。
IPC (3件)：
G02B 6/12 ,  G02B 6/13 ,  G02F 1/03
FI (3件)：
G02B6/12 J ,  G02B6/12 M ,  G02F1/03
Fターム (31件)：
2H079AA02 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079BA03 ,  2H079DA03 ,  2H079DA22 ,  2H079EA05 ,  2H079EB04 ,  2H079JA08 ,  2H147AB02 ,  2H147AB21 ,  2H147AC01 ,  2H147BD20 ,  2H147BE01 ,  2H147BE12 ,  2H147BG06 ,  2H147BG08 ,  2H147BG19 ,  2H147CA23 ,  2H147CC02 ,  2H147CD02 ,  2H147DA12 ,  2H147EA05A ,  2H147EA05B ,  2H147EA05C ,  2H147EA37A ,  2H147FA03 ,  2H147FB12 ,  2H147FB13 ,  2H147FC03 ,  2H147FC08
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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