特許

J-GLOBAL ID：201003076360511505

TiO2を含有するシリカガラス

発明者： 小池 章夫 ,  岩橋 康臣 ,  菊川 信也
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-323820
公開番号（公開出願番号）：特開2010-064950
出願日： 2008年12月19日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：

【課題】EUVL用露光装置の光学系部材として好適な熱膨張特性を有するTiO2-SiO2ガラスの提供。【解決手段】熱膨張係数が0ppb/°Cとなる温度が23±4°Cの範囲内にあり、熱膨張係数が0±5ppb/°Cとなる温度幅が5°C以上であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

熱膨張係数が0ppb/°Cとなる温度が23±4°Cの範囲にあり、熱膨張係数が0±5ppb/°Cとなる温度幅が5°C以上であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。

IPC (3件)：

C03C 3/06 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

C03C3/06 ,  G03F1/14 B ,  H01L21/30 502P ,  H01L21/30 531A

Fターム (59件)：

2H095BB11 ,  2H095BC27 ,  4G062AA01 ,  4G062BB02 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FB03 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM23 ,  4G062NN30 ,  5F046GB01 ,  5F046GD00

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 米国特許出願公開第2002/157421号明細書
  
• TiO2を含有するシリカガラスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-072762   出願人：旭硝子株式会社
• シリカガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-000389   出願人：旭硝子株式会社

審査官引用 (1件)

• シリカガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-000389   出願人：旭硝子株式会社