TiO2を含有するシリカガラス

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡辺望稔 , 三和晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-323820
公開番号（公開出願番号）：特開2010-064950
出願日： 2008年12月19日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：

【課題】EUVL用露光装置の光学系部材として好適な熱膨張特性を有するTiO2-SiO2ガラスの提供。【解決手段】熱膨張係数が0ppb/°Cとなる温度が23±4°Cの範囲内にあり、熱膨張係数が0±5ppb/°Cとなる温度幅が5°C以上であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

熱膨張係数が0ppb/°Cとなる温度が23±4°Cの範囲にあり、熱膨張係数が0±5ppb/°Cとなる温度幅が5°C以上であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。

IPC (3件)：

C03C 3/06 , G03F 1/14 , H01L 21/027

FI (4件)：

C03C3/06 , G03F1/14 B , H01L21/30 502P , H01L21/30 531A

Fターム (59件)：

2H095BB11 , 2H095BC27 , 4G062AA01 , 4G062BB02 , 4G062DA08 , 4G062DB01 , 4G062DC01 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FB03 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM23 , 4G062NN30 , 5F046GB01 , 5F046GD00

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許出願公開第2002/157421号明細書
TiO2を含有するシリカガラスおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-072762 出願人：旭硝子株式会社

審査官引用 (1件)

シリカガラス
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-000389 出願人：旭硝子株式会社

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