エキスパンド装置及びエキスパンド方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人青莪
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-276905
公開番号（公開出願番号）：特開2010-108996
出願日： 2008年10月28日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
要約：

【課題】接着シートSに貼付された被着体Wを複数の小片WTに切断し、接着シートSを引き伸ばしてこれら小片WT間に間隙を形成するエキスパンド装置であって、手間のかかる機械部品のセット作業を不要とした、小型で簡単構造のものを提供する。【解決手段】接着シートSが間に挟まれるように被着体Wを載置するステージ1を備える。ステージ1の表面には、被着体Wの外縁からはみ出た接着シートS領域が載置される位置に凹溝11が形成され、吸引手段2によって凹溝11内に接着シートSを吸引して凹溝11よりも内方に位置する接着シートSを引き伸ばす。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被着体の外縁からはみ出る大きさの接着シートに貼付された被着体を複数の小片に切断し、前記接着シートを引き伸ばしてこれら小片間に間隙を形成するエキスパンド装置であって、前記接着シートを前記被着体との間に挟んで当該被着体を載置するステージと、前記被着体の外縁からはみ出た接着シート領域が載置されるステージの表面に形成された凹溝と、前記凹溝に吸引力を付与する吸引手段とからなり、前記凹溝は、吸引手段によって付与された吸引力によって凹溝内に接着シートを吸引して凹溝よりも内方に位置する接着シートを引き伸ばすことを特徴とするエキスパンド装置。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , H01L 21/67

FI (2件)：

H01L21/78 W , H01L21/68 E

Fターム (8件)：

5F031CA02 , 5F031CA13 , 5F031HA02 , 5F031HA05 , 5F031HA14 , 5F031HA78 , 5F031JA32 , 5F031JA51

引用特許：

出願人引用 (1件)

シートの引き伸し装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-019264 出願人：東芝メカトロニクス株式会社

審査官引用 (4件)

特開昭62-256451
ウェハテーブルの移動制御方法および移動制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-088499 出願人：松下電器産業株式会社
ウェーハの保持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-292307 出願人：株式会社ディスコ

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