感光性接着剤組成物、フィルム状接着剤、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ、半導体装置、及び半導体装置の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：長谷川芳樹 , 清水義憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-095695
公開番号（公開出願番号）：特開2010-077389
出願日： 2009年04月10日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：

【課題】パターン形成性を有し、パターン形成後の低温熱圧着性、高温接着性(耐熱性)、及び耐湿信頼性に優れ、フィルム状に形成した場合には低温貼付性にも優れる感光性接着剤組成物、これを用いたフィルム状接着剤、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ、半導体装置、及び半導体装置の製造方法を提供すること。【解決手段】 (A)アルカリ可溶性樹脂、(B)放射線重合性化合物、(C)光開始剤、(D)1分間半減期温度が120°C以上である熱ラジカル発生剤、及び(E)熱硬化性樹脂を含有する、感光性接着剤組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)放射線重合性化合物、(C)光開始剤、(D)1分間半減期温度が120°C以上である熱ラジカル発生剤、及び(E)熱硬化性樹脂を含有する、感光性接着剤組成物。

IPC (13件)：

C09J 201/00 , C09J 4/00 , C09J 11/06 , C09J 163/00 , C09J 7/00 , C09J 7/02 , H01L 21/52 , H01L 25/065 , H01L 25/07 , H01L 25/18 , G03F 7/004 , G03F 7/032 , H01L 21/301

FI (12件)：

C09J201/00 , C09J4/00 , C09J11/06 , C09J163/00 , C09J7/00 , C09J7/02 Z , H01L21/52 E , H01L25/08 Z , G03F7/004 501 , G03F7/032 , G03F7/004 512 , H01L21/78 M

Fターム (48件)：

2H125AC34 , 2H125AC38 , 2H125AC57 , 2H125AD07 , 2H125AD26 , 2H125AE06P , 2H125AM77P , 2H125AM92P , 2H125AN25P , 2H125AN84P , 2H125AP11P , 2H125BA20P , 2H125BA22P , 2H125CA11 , 2H125CB02 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 2H125CD14P , 2H125CD38 , 4J004AA01 , 4J004AA13 , 4J004AA16 , 4J004AB06 , 4J004BA02 , 4J004CC02 , 4J004FA05 , 4J004FA08 , 4J040EC051 , 4J040EC091 , 4J040EH031 , 4J040FA131 , 4J040HB41 , 4J040JB07 , 4J040KA12 , 4J040KA13 , 4J040MA04 , 4J040NA20 , 4J040PA23 , 5F047AA11 , 5F047AA13 , 5F047AA17 , 5F047BA23 , 5F047BA24 , 5F047BA34 , 5F047BA39 , 5F047BB03 , 5F047BB13 , 5F047BB19

引用特許：

審査官引用 (2件)

感光性接着剤組成物、及びそれを用いた接着フィルム、接着シート、接着剤パターン、並びに半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-139504 出願人：日立化成工業株式会社
フィルム状接着剤、接着シート及びそれを使用した半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-043139 出願人：日立化成工業株式会社

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