特許
J-GLOBAL ID：201003077301225341
インクジェット塗布装置、平行度調整装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
石島 茂男
, 阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-285827
公開番号（公開出願番号）：特開2010-110700
出願日： 2008年11月06日
公開日（公表日）： 2010年05月20日
要約：
【課題】ノズル面と平行度調整板との間の距離を非接触で測定し、ノズル面と平行度調整板との角度の調整が容易に行えるインクジェット塗布装置を提供する。【解決手段】符号1は、基板ステージ12上に配置された基板16の所望位置に吐出液を着弾させるインクジェット塗布装置である。インクジェットヘッド30は、第一〜第三の距離センサー331〜333と平行度調整装置25とを有しており、第一〜第三の距離センサー331〜333により、ノズル面と基板ステージ12上に配置されたノズル面調整板20との距離を測定する。測定結果に基づき、平行度調整装置25が有するノズル面調整機構40によってノズル面調整板20に対するノズル面の角度を調整し、角度を維持したまま、インクジェットヘッド30を基板16上の所望位置に移動し、基板16上に塗布液を塗布することが可能となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板が配置される基板ステージと、
前記基板ステージと相対移動可能に構成されたインクジェットヘッドとを有し、
前記インクジェットヘッドのノズル面に設けられたノズル孔から前記基板に対して吐出液が吐出されるように構成された吐出装置であって、
前記基板ステージには、ノズル面調整板が配置され、
前記インクジェットヘッドには、前記ノズル面に対して位置が固定され、検出信号を射出可能な第一〜第三のセンサと、
前記第一〜第三のセンサに測定された測定装置と、
前記ノズル面の前記ノズル面調整板に対する角度を変化させるノズル面調整機構とを有し、
前記第一〜第三のセンサから前記ノズル面調整板に前記検出信号が射出された結果、生成された測定信号を測定し、前記測定装置が前記ノズル面上の三点と前記ノズル面調整板との間の距離を求め、
測定結果から、前記ノズル面調整機構によって前記ノズル面と前記ノズル面調整板とを平行にできるインクジェット塗布装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA21
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042BA08
, 4F042DH09
