特許
J-GLOBAL ID：201003077545834056
アルコキシメチル化合物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 中村 和広
, 小野田 浩之
, 齋藤 都子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-205010
公開番号（公開出願番号）：特開2010-189375
出願日： 2009年09月04日
公開日（公表日）： 2010年09月02日
要約：
【課題】感光性樹脂組成物の添加剤として用いた場合、環化樹脂とする際の硬化時残膜率が高く、高感度なポジ型のリソグラフィー性能を有するアルコキシメチル化合物の提供。【解決手段】式(1)で表されるアルコキシメチル化合物。Z1は、-CO-R3又は-SO2-R4(R3及びR4は、炭素数1〜9の有機基)であり、Rは、メチル基又はエチル基であり、kは、1〜4の整数であり、Z2は、k=1の時、CnH2nOR1又はR2であり、R1は、メチル基、エチル基、n-プロピル基又はイソプロピル基であり、R2は、水素原子又は炭素数1〜4の炭化水素基であり、nは1〜3の整数であり、k=2〜4の時、単結合又は2〜4価の有機基である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記一般式(1):
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
4H006AA01
, 4H006AB46
, 4H006AB48
, 4H006AB76
, 4H006BJ50
, 4H006BP10
, 4H006KA14
, 4H006KE20
