特許

J-GLOBAL ID：200903011631513716

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 三好 一登 ,  富川 真佐夫
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-347113
公開番号（公開出願番号）：特開2008-158263
出願日： 2006年12月25日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：

【課題】キュア後解像度および耐薬品性に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】(a)アルカリ可溶性樹脂および(b)アルコキシメチル基を有するキノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(a)アルカリ可溶性樹脂および(b)アルコキシメチル基を有するキノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/022 601 ,  G03F7/023 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (22件)：

2H025AA02 ,  2H025AA06 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB28 ,  2H025CB33 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA28 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096GA09 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ポジ型感光性樹脂前駆体組成物及びそれを用いた電子部品ならびに表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-041308   出願人：東レ株式会社
• 感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-215475   出願人：日立化成工業株式会社, 株式会社日立製作所
• 感光性樹脂前駆体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-202743   出願人：東レ株式会社

審査官引用 (3件)

• 高分子化合物及びポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-131042   出願人：信越化学工業株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-054164   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-338299   出願人：東レ株式会社