特許

J-GLOBAL ID：201003077914883333

セラミックス管の製造方法

発明者： 菅野 晃 ,  一ノ倉 正人
出願人/特許権者： コバレントマテリアル株式会社
代理人 (2件)： 木下 茂 ,  石村 理恵
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-217662
公開番号（公開出願番号）：特開2010-052966
出願日： 2008年08月27日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：

【課題】屈曲したセラミックス管を容易に製造でき、しかも気密性を保持できるセラミックス管の製造方法を提供する。【解決手段】管上半部1a、管下半部1b、保持体2の夫々の成形体を形成する成形工程と、成形工程によって得られた管上半部1aセラミックス成形体、管下半部1bセラミックスの成形体の夫々を所定の温度で仮焼成すると共に、前記管上半部1aセラミックス成形体、管下半部1bセラミックス成形体の仮焼成温度よりも低い温度で、保持体2セラミックス成形体を仮焼成する仮焼成工程と、前記仮焼成工程によって得られた管上半部1a仮焼成体と管下半部1b仮焼成体とを合体させ、一つのセラミックス管仮焼成体とした後、セラミックス管仮焼成体を保持体2仮焼成体によって保持する組立工程と、前記組立工程を経たセラミックス管仮焼成体を仮焼成温度よりも高い温度で焼成する焼成工程とを含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

管の軸線に沿って延設された、断面半円状のセラミックスからなる管上半部と、 管の軸線に沿って延設されると共に、断面が半円状に形成され、前記管上半部と合体して、一つの円筒状の管を形成する、セラミックスからなる管下半部と、 合体した前記管上半部と管下半部の外周囲を覆い、合体した前記管上半部と管下半部を保持するセラミックスからなる保持体とを備えたセラミックス管の製造方法であって、 前記管上半部のセラミックス成形体、管下半部のセラミックス成形体、保持体のセラミックス成形体の夫々を形成する成形工程と、 前記成形工程によって得られた管上半部セラミックス成形体、管下半部セラミックス成形体の夫々を所定の温度で仮焼成すると共に、前記管上半部セラミックス成形体、管下半部セラミックス成形体の仮焼成温度よりも低い温度で、保持体セラミックス成形体を仮焼成する仮焼成工程と、 前記仮焼成工程によって得られた管上半部仮焼成体と管上半部仮焼成体とを合体させ、一つの管状の仮焼成体とした後、管状の仮焼成体を保持体仮焼成体によって保持し、セラミックス管仮焼成体として組み立てる組立工程と、 前記組立工程を経たセラミックス管仮焼成体を仮焼成温度よりも高い温度で焼成する焼成工程とを含むことを特徴とするセラミックス管の製造方法。

IPC (1件)：

C04B 37/00

FI (1件)：

C04B37/00 Z

Fターム (10件)：

4G026BA01 ,  4G026BA21 ,  4G026BB01 ,  4G026BB37 ,  4G026BC01 ,  4G026BD14 ,  4G026BE02 ,  4G026BF57 ,  4G026BG05 ,  4G026BH13

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 熱電対保護管の製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-244129   出願人：旭硝子株式会社
• 半導体製造装置用部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-069086   出願人：東芝セラミックス株式会社