特許
J-GLOBAL ID：201003079051188987

載置台

発明者：
篠原 榮一

篠原 榮一 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-266479
公開番号（公開出願番号）：特開2010-098056
出願日： 2008年10月15日
公開日（公表日）： 2010年04月30日
要約：
【課題】高電圧、高電流を用いる電気的特性検査によってトッププレート(載置体)が変色しても、載置台の載置体だけを交換し、他の構成部品を交換する必要がなく、交換費用を削減することができる載置台を提供する。【解決手段】本発明の載置台20は、タイコウエハWの電気的特性検査を行うために、タイコウエハWをその環状突起を下側にして載置する載置台であって、タイコウエハWの載置面を有する載置体21Aと、載置体21Aが固定された絶縁体22とを備え、載置体21はタイコウエハWの環状突起と嵌合し且つタイコウエハWの下面と接触するように形成された載置部21Aと、載置部21Aの外側に形成され且つ環状突起と接触する環状平面部21Bと、を有し、載置21Aが環状平面部21B側から装着されたネジ部材23によって絶縁体22に着脱可能に連結、固定されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
下面の外周縁部全周に亘って形成された環状突起で囲まれる凹陥部を有する被検査体の電気的特性検査を行うために、上記被検査体を載置する載置台であって、上記被検査体の載置面を有する載置体と、上記載置体が着脱可能に固定された絶縁体とを備え、上記載置体は上記被検査体の凹陥部と嵌合し且つ上記載置面が上記被検査体の下面と接触するように形成された載置部と、上記載置部の外側に形成され且つ上記環状突起を受け入れる環状平面部と、を有し、締結部材を用いて上記載置体が上記環状平面部において上記絶縁体に固定されることを特徴とする載置台。
IPC (2件)：
H01L 21/66 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
H01L21/66 D ,  H01L21/68 N
Fターム (16件)：
4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DJ02 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA13 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031KA11 ,  5F031KA12 ,  5F031MA33
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開昭63-138745
  • 特開昭62-291937
審査官引用 (4件)
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