パルス状高調波紫外レーザのための方法および装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山田行一 , 野田雅一 , 池田成人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-520204
公開番号（公開出願番号）：特表2010-535361
出願日： 2008年07月31日
公開日（公表日）： 2010年11月18日
要約：

1ps〜1マイクロ秒の間の範囲のパルス幅を有するコヒーレントなパルス紫外光を生成するための装置は、可視光または近赤外周波数範囲の1つ以上の光源レーザを含む。本装置はまた1つ以上のFC段を含み、1つ以上のFC段の少なくとも1つは、非線形FCデバイスと1つ以上の光学素子とを含む。光学素子は反射器、集束素子、偏光制御光学系、波長分離器、または光ファイバ部品を含む。FCデバイスは、190〜350nmの間の波長を有するFC光を生成するように構成されたハンタイト型アルミニウム複合ホウ化物の非線形光学材料を含む。非線形光学材料は190〜350nmの波長範囲で70%より高い光透過率によって特徴付けられる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

可視光または近赤外周波数範囲の光出力を有する1つ以上の光源レーザと、 1つ以上の周波数変換段と、を備える、1ps〜1μsの間の範囲のパルス幅を有するコヒーレントなパルス紫外光を生成するための装置であって、前記1つ以上の周波数変換段の少なくとも1つが、非線形周波数変換デバイスと、反射器、集束素子、偏光制御光学系、波長分離器、または光ファイバ部品を含む1つ以上の光学素子とを含み、前記周波数変換デバイスが、190〜350nmの間の波長を有する周波数変換光を生成するように構成されたハンタイト型アルミニウム複合ホウ化物の非線形光学材料を含み、前記ハンタイト型アルミニウム複合ホウ化物の非線形光学材料がRAl3B4O12によって表される組成を有し、Rが元素{Sc、La、Y、Lu}のうちの1つまたは複数を含み、前記ハンタイト型アルミニウム複合ホウ化物の非線形光学材料が190〜350nmの波長範囲で75%を超える光透過率を特徴とする、装置。

IPC (3件)：

G02F 1/37 , H01S 3/109 , H01S 3/06

FI (3件)：

G02F1/37 , H01S3/109 , H01S3/06 B

Fターム (19件)：

2K002AA04 , 2K002AB12 , 2K002AB27 , 2K002BA02 , 2K002BA03 , 2K002CA02 , 2K002DA01 , 2K002EA10 , 2K002EA22 , 2K002FA11 , 2K002HA19 , 2K002HA20 , 5F172AM08 , 5F172DD03 , 5F172EE13 , 5F172NN14 , 5F172NR03 , 5F172NR13 , 5F172NR22

引用特許：

審査官引用 (4件)

遠隔UVレーザシステム及び使用方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-521886 出願人：スペクトラフィジックスインコーポレイテッド
レーザ光発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-348869 出願人：ソニー株式会社
波長変換光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-210979 出願人：株式会社ニコン

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