特許
J-GLOBAL ID：201003079986295242

干渉計による2次元位相デ-タのアンラップ方法および装置

発明者：
熊谷 俊樹

熊谷 俊樹 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (5件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-068819
公開番号（公開出願番号）：特開2010-223627
出願日： 2009年03月19日
公開日（公表日）： 2010年10月07日
要約：
【課題】干渉計による2次元位相デ-タのアンラップ方法および装置において、データの欠落があっても有効領域内の2次元位相データ全体をアンラップすることができるようにする。【解決手段】同一のオフセット値を有すると見なすことができる2次元位相データの集まりである共通オフセット位相データ群を生成する共通オフセット位相データ群生成工程S10と、共通オフセット位相データ群の各オフセット値z0iに対応するパラメータZ1_iをフィッティング関数を仮定して推定するオフセット推定工程S11と、推定された各パラメータZ1_iのうちいずれか、またはZ1_iによる加重平均位相を基準位相値Oとして、z0i=2π・round{(Z1_i-O)/2π}を算出し、このオフセット値z0iを共通オフセット位相データ群からそれぞれ減算して2次元位相データを生成するアンラップ工程S12とを備える。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
干渉計によって得られた2次元位相デ-タのアンラップを行う干渉計による2次元位相デ-タのアンラップ方法であって、 前記干渉計によって得られた2次元位相データに基づいて、一定の基準位相値に対して同一のオフセット値を有すると見なすことができる2次元位相データの集まりであるn個(ただし、nは1以上の整数)の共通オフセット位相データ群Ri(ただし、添字iは、1≦i≦nの整数)を生成する共通オフセット位相データ群生成工程と、 少なくとも、該共通オフセット位相データ群工程で生成された前記共通オフセット位相データ群Riの前記各オフセット値に対応するパラメータZ1_iをフィッティングパラメータとして含むフィッティング関数を仮定し、前記共通オフセット位相データ群Riを用いて前記フィッティングパラメータの最適値を求める演算を行い、前記各パラメータZ1_iを推定するオフセット推定工程と、 該オフセット推定工程で推定された前記各パラメータZ1_iのうちいずれか、または次式(2a)、(2b)によって求められた前記パラメータZ1_iによる加重平均位相を基準位相値Oとして、前記各共通オフセット位相データ群Riのオフセット値z0iを次式(1)によって算出し、該オフセット値z0iを前記共通オフセット位相データ群Riからそれぞれ減算して、アンラップされた2次元位相データを生成するアンラップ工程とを備えることを特徴とする干渉計による2次元位相デ-タのアンラップ方法。 z0i=2π・round{(Z1_i-O)/2π} ・・・(1)
IPC (3件)：
G01B 9/02 ,  G01M 11/00 ,  G01B 11/24
FI (3件)：
G01B9/02 ,  G01M11/00 L ,  G01B11/24 D
Fターム (25件)：
2F064AA09 ,  2F064BB04 ,  2F064EE02 ,  2F064EE04 ,  2F064EE05 ,  2F064FF02 ,  2F064GG22 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ02 ,  2F065AA45 ,  2F065BB05 ,  2F065CC21 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG06 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL10 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ24 ,  2F065UU05 ,  2G086FF01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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