特許

J-GLOBAL ID：201003081273396736

単一放射線ビームによる脆性材料のスコアリングおよび分離方法および装置

発明者： アブラモフ,アナトリ エイ ,  スゥン,ヤーウェイ
出願人/特許権者： コーニング インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-508394
公開番号（公開出願番号）：特表2010-527319
出願日： 2008年05月13日
公開日（公表日）： 2010年08月12日
要約：

単一レーザビームのみを用いて、脆性材料、特にガラス板またはガラス基板に対しスコアリングを施しかつそれを分離する方法および装置である。ガラス基板上に入射するビームによって放射ゾーンが生成され、放射ゾーンは、放射ゾーンに入射する冷却剤噴流によって2つの部分になるように有効に形成される。放射ゾーンは、基板の厚さの一部に開口クラックを生成する先行部分と、基板の残りの部分全体に開口クラックを伝播し、それにより基板を分離する後続部分とに分離される。

請求項（抜粋）：

脆性材料を分離する方法であって、 脆性材料の板を提供するステップと、 前記板の上に細長い放射ゾーンを形成するステップと、 前記板の上に前記放射ゾーンと交差する冷却ゾーンを形成することにより、前記放射ゾーンのスコアリング部分および分離部分を形成するステップと、 前記板と前記交差する放射ゾーンおよび冷却ゾーンとの間に相対移動をもたらすことにより、前記板に対しスコアリングを施しかつ前記板を分離するステップと、 を含むことを特徴とする、方法。

IPC (3件)：

C03B 33/09 ,  B28D 5/00 ,  G02F 1/13

FI (3件)：

C03B33/09 ,  B28D5/00 Z ,  G02F1/13 101

Fターム (16件)：

2H088FA07 ,  2H088FA30 ,  3C069AA01 ,  3C069AA03 ,  3C069BA08 ,  3C069BB01 ,  3C069BB04 ,  3C069CA11 ,  3C069EA01 ,  4G015FA01 ,  4G015FA03 ,  4G015FA04 ,  4G015FA06 ,  4G015FB01 ,  4G015FB02 ,  4G015FC10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 非金属材料を分離する方法及び装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-539634   出願人：アプライド・フォトニクス・インコーポレーテッド
• スクライブ方法及びスクライブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-170520   出願人：三星ダイヤモンド工業株式会社