特許
J-GLOBAL ID:201003082781078150
固体撮像素子及び撮像装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
高松 猛
, 矢澤 清純
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-233318
公開番号(公開出願番号):特開2010-067828
出願日: 2008年09月11日
公開日(公表日): 2010年03月25日
要約:
【課題】画素部サイズが1μmオーダーでも、混色を実用上問題ないレベルまで低減することが可能な固体撮像素子を提供する。【解決手段】p型シリコン基板1上方に配列された多数の画素部を有する固体撮像素子であって、該画素部が、p型シリコン基板1上方に設けられた光電変換部(下部電極6、光電変換層7、上部電極8)と、該光電変換部上方に設けられたカラーフィルタ10とを含み、隣接する画素部のカラーフィルタ10同士の間に、画素部のカラーフィルタ10に入射した光が隣の画素部に入射するのを防止するための隔壁11を備える。隔壁11は、隣接する画素部のカラーフィルタ10同士の間にカラーフィルタ10の側面を覆って設けられており、画素部が、カラーフィルタ10と上部電極8との間に設けられた光電変換部を保護するための保護層9を含み、保護層9の厚さが、0より大きく1.0μm以下である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板上方に配列された多数の画素部を有する固体撮像素子であって、
前記画素部が、前記基板上方に設けられた光電変換部と、前記光電変換部上方に設けられたカラーフィルタとを含み、
前記画素部の前記カラーフィルタに入射した光が隣の前記画素部に入射するのを防止するための隔壁を備え、
前記隔壁が、隣接する前記画素部の前記カラーフィルタ同士の間に前記カラーフィルタの側面を覆って設けられており、
前記光電変換部が、前記基板上方に設けられた下部電極、前記下部電極上方に設けられた上部電極、及び前記下部電極と前記上部電極の間に設けられた光電変換層を含み、
前記画素部が、前記カラーフィルタと前記上部電極との間に設けられた、前記光電変換部を保護するための保護層を含み、
前記保護層の厚さが、0より大きく1.0μm以下である固体撮像素子。
IPC (4件):
H01L 27/14
, H04N 9/07
, G02B 5/20
, H01L 27/146
FI (4件):
H01L27/14 D
, H04N9/07 A
, G02B5/20 101
, H01L27/14 E
Fターム (29件):
2H048BA02
, 2H048BB06
, 2H048BB22
, 2H048BB37
, 2H048BB46
, 4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA07
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA14
, 4M118CA32
, 4M118CB05
, 4M118FA06
, 4M118GC08
, 4M118GC13
, 4M118GD03
, 4M118GD07
, 4M118HA02
, 5C065AA01
, 5C065AA03
, 5C065AA04
, 5C065BB42
, 5C065CC01
, 5C065DD17
, 5C065DD26
, 5C065EE10
, 5C065EE11
, 5C065EE12
引用特許:
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