固体撮像装置及びその製造方法並びにカメラ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (11件)：前田弘 , 竹内宏 , 嶋田高久 , 竹内祐二 , 今江克実 , 藤田篤史 , 二宮克也 , 原田智雄 , 井関勝守 , 関啓 , 杉浦靖也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-009083
公開番号（公開出願番号）：特開2006-295125
出願日： 2006年01月17日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：

【課題】斜め光による隣接画素からの混色を防止可能なオンチップフィルタを有する固体撮像装置を提供する。【解決手段】本発明の固体撮像装置は、半導体基板1と、半導体基板1にマトリクス状に形成された受光素子2と、受光素子2の上層に形成された複数のカラーフィルタ層8a〜8cと、複数のカラーフィルタ層8a〜8cの上層に形成され、受光素子2に光を集光する集光手段とを備え、複数のカラーフィルタ8a〜8c同士の間には隙間9が設けられ、前記隙間9には気体が存在している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体基板と、前記半導体基板にマトリクス状に形成された受光素子と、前記受光素子の上層に形成され、隙間によって互いに分離される複数のカラーフィルタ層と、前記複数のカラーフィルタ層の上層に形成され、前記受光素子に光を集光する集光手段とを備える固体撮像装置であって、前記隙間には気体が存在している固体撮像装置。

IPC (5件)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , G02B 5/20 , H04N 9/07 , H04N 5/335

FI (5件)：

H01L27/14 D , G02B3/00 A , G02B5/20 101 , H04N9/07 A , H04N5/335 U

Fターム (35件)：

2H048BA02 , 2H048BA45 , 2H048BB02 , 2H048BB10 , 2H048BB28 , 2H048BB46 , 4M118AA01 , 4M118AA05 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA13 , 4M118BA14 , 4M118CA26 , 4M118EA01 , 4M118FA06 , 4M118GA08 , 4M118GA09 , 4M118GB08 , 4M118GC08 , 4M118GC14 , 4M118GC15 , 4M118GC17 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C024BX01 , 5C024CY47 , 5C024DX01 , 5C024GX03 , 5C065AA03 , 5C065BB19 , 5C065CC01 , 5C065DD17 , 5C065EE05 , 5C065EE06 , 5C065EE10

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平2-084766号公報
特許第2604890号公報
特許第3158466号公報

審査官引用 (6件)

特開平4-074470
固体撮像装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-107618 出願人：松下電子工業株式会社
固体撮像素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-349677 出願人：凸版印刷株式会社

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