特許
J-GLOBAL ID：201003085366719778

シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法

発明者：
佐藤 忠広

佐藤 忠広 について

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森川 正樹

森川 正樹 について


出願人/特許権者：
ジャパンスーパークォーツ株式会社

ジャパンスーパークォーツ株式会社 について

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株式会社SUMCO

株式会社SUMCO について


代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-281170
公開番号（公開出願番号）：特開2010-105881
出願日： 2008年10月31日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
要約：
【課題】内表面全体の研磨処理を行うことなく、透明層における気泡量を低減したシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの新たな製造方法を提供する。【解決手段】石英原料粉から形成したルツボ形状成形体に対して内面から外面方向に減圧を与え、かつルツボ形状成形体を回転させながらアーク溶融することにより、内面側は透明層であり、外面側は気泡層である石英ガラスルツボを形成する工程、石英ガラスルツボの壁部内面をアーク溶融によって再溶融して壁部内面の透明層に存在する気泡を壁部内面の底部方向に移動させる底部方向移動工程、および石英ガラスルツボの底部内面をアーク溶融によって再溶融して底部内面の透明層に存在する気泡を底部内面の外周方向に移動させる外周方向移動工程を含み、壁部内面と底部内面が形成する透明層のコーナー部に気泡を集積した石英ガラスルツボを得る。底部方向移動工程と外周方向移動工程は、どちらを先に実施してもよい。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
回転する型内に石英原料粉を供給し、ルツボ形状成形体を形成する工程、 前記ルツボ形状成形体に対して内面から外面方向に減圧を与え、かつ前記ルツボ形状成形体を回転させながらアーク溶融することにより、内面側は透明層であり、外面側は気泡層である石英ガラスルツボを形成する工程(石英ガラスルツボ形成工程)(但し、前記減圧は、アーク溶融の少なくとも一部の過程において与える)、 前記石英ガラスルツボの壁部内面をアーク溶融によって再溶融して前記壁部内面の透明層に存在する気泡を前記壁部内面の底部方向に移動させる工程(底部方向移動工程)、および 前記石英ガラスルツボの底部内面をアーク溶融によって再溶融して前記底部内面の透明層に存在する気泡を前記底部内面の外周方向に移動させる工程(外周方向移動工程)、 を含み、 前記底部方向移動工程と外周方向移動工程は、どちらを先に実施してもよく、 壁部内面と底部内面が形成する透明層のコーナー部に気泡を集積した石英ガラスルツボを得る、 ことを特徴とするシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法。
IPC (3件)：
C03B 20/00 ,  C30B 29/06 ,  C30B 15/10
FI (3件)：
C03B20/00 H ,  C30B29/06 502B ,  C30B15/10
Fターム (7件)：
4G014AH00 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG01 ,  4G077HA12 ,  4G077PD01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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