プローブ顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：井上学 , 戸田裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-129791
公開番号（公開出願番号）：特開2010-276488
出願日： 2009年05月29日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

【課題】試料表面近傍に存在するイオンの定性及び定量評価を可能とし、試料に存在する不純物や欠陥,腐食起点等を、さらに簡便に高感度で検出できるプローブ顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】本発明のプローブ顕微鏡は、試料を保持し、液体を注入することのできる試験セルと、探針と、対極と、参照極と、探針を試料表面に追随させながら走査させる駆動機構と、前記探針と前記参照極間の電位を制御する電位制御部と、前記探針と前記対極間に流れる電流を計測する電流計測部とを備え、前記探針の材質を金あるいは金合金、炭素あるいは炭素化合物、ホウ素,亜鉛,鉛,スズ,水銀のいずれかを含む導電体としたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料を保持し、液体を注入することのできる試験セルと、探針と、対極と、参照極と、探針を試料表面に追随させながら走査させる駆動機構と、前記探針と前記参照極間の電位を制御する電位制御部と、前記探針と前記対極間に流れる電流を計測する電流計測部とを備え、前記探針は白金よりも電位窓が広く、負電位側に電位窓を有する導電体で構成されたことを特徴とするプローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01Q 60/60 , G01Q 30/14

FI (3件)：

G01N13/24 101 , G01N13/24 101A , G01N13/10 121H

引用特許：

審査官引用 (9件)

走査型電気化学顕微鏡の探針及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-254655 出願人：松下電器産業株式会社
特開平2-201252
溶液分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-233456 出願人：藤嶋昭, 株式会社明電舎

全件表示

前のページに戻る