プローブ顕微鏡及びそれを用いた測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-093081
公開番号（公開出願番号）：特開2010-243355
出願日： 2009年04月07日
公開日（公表日）： 2010年10月28日
要約：

【課題】材料に存在する微量な不純物や微小な欠陥、さらには、腐食の起点を簡便に高感度で検出する。【解決手段】液中で試料より拡散されるイオンを検知する機能を有し、プローブ3を試料7上の所定の範囲を走査した後、試料とプローブとの距離を試料表面の微小な構造を観察できない距離まで一定間隔離して、特定の液中位置にプローブを固定する。その後、プローブ3と対極4間の電流、プローブと参照極5間の電位の一方を制御して他方の追随を測定することで、試料より拡散されるイオンを検知する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料を保持し、液体を注入することのできる試験セルと、プローブと、対極と、参照極と、前記プローブを原子間力顕微鏡の原理で試料表面に追随させながら走査させる駆動機構と、前記プローブと前記参照極間の電位を制御する電位制御部と、前記プローブと前記対極間に流れる電流を計測する電流計測部とを備え、前記プローブを、前記原子間力顕微鏡の原理で計測した試料表面から液体中で所定距離だけ離した状態で、前記電位制御部によって前記プローブと前記参照極間の電位を制御して前記電流計測部によって前記プローブと前記対極間に流れる電流を計測し、前記計測された電流がピークを示す電位から前記液体中のイオンの種類を検出することを特徴とするプローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01Q 60/60 , G01Q 60/24 , G01Q 30/14

FI (3件)：

G01N13/24 101 , G01N13/16 101 , G01N13/10 121H

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-201252
溶液分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-233456 出願人：藤嶋昭, 株式会社明電舎
溶液分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-259997 出願人：北斗電工株式会社

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