特許

J-GLOBAL ID：201003088441861606

結晶性組成物及びウェハに関連する方法

発明者： デヴェリン,マーク,ピー ,  ナラン,クリスティ,ジェイ ,  パーク,ドン-シル ,  ホン,ヒュイコン ,  カオ,シアン-アン ,  ゼン,ラリー,キュー
出願人/特許権者： モメンティブ パフォーマンス マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 古谷 聡 ,  溝部 孝彦 ,  西山 清春
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-536327
公開番号（公開出願番号）：特表2010-509172
出願日： 2007年11月09日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：

第1の結晶組成物がガリウムと窒素を含む、結晶組成物を成長させる方法。この結晶組成物は約3175cm-1に赤外吸収ピークを有し、単位厚み当りの吸光度が約0.01cm-1より大きい。一態様で、この材料は1立方センチメートル当り約3×1018未満の濃度の酸素量を有し、第1の結晶組成物の所定の体積中には二次元の平面境界欠陥がない。

請求項（抜粋）：

窒化ガリウムを含有する結晶組成物を成長させる方法であって、 核形成中心と関連している源材料を加熱し、前記核形成中心が、ガリウム及び窒素を含む第1の結晶組成物を含み、該第1の結晶組成物が、厚みwと、厚みwに垂直な結晶面を規定する次元x及びyとを有し、前記第1の結晶組成物が、少なくとも1つの次元x又はyで少なくとも3mmである少なくとも1つの粒子を含み、該少なくとも1つの粒子が、二次元の欠陥を含まず、1平方センチメートル当り約10,000未満の一次元の転位密度を有し、 前記第1の結晶組成物上に第2の結晶組成物を成長させ、前記第1の結晶組成物及び前記第2の結晶組成物が、同一の又は異なる第III族窒化物であることを含む、方法。

IPC (3件)：

C30B 29/38 ,  C30B 7/10 ,  C01B 21/06

FI (3件)：

C30B29/38 D ,  C30B7/10 ,  C01B21/06 A

Fターム (18件)：

4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077AB02 ,  4G077AB04 ,  4G077AB09 ,  4G077BE15 ,  4G077CB04 ,  4G077ED06 ,  4G077EJ09 ,  4G077FE02 ,  4G077FE11 ,  4G077FG02 ,  4G077FG12 ,  4G077FJ01 ,  4G077HA02 ,  4G077KA03 ,  4G077KA05 ,  4G077KA07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 窒化ガリウム結晶、ホモエピタキシャル窒化ガリウムを基材とするデバイス、及びその製造方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-565702   出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• 単結晶窒化ガリウム基板上に製作した第III族窒化物系空洞共振発光素子
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-536820   出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ