特許

J-GLOBAL ID：201003088822315543

切削装置

発明者： 小見山 豊広
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (3件)： 佐々木 功 ,  川村 恭子 ,  久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-200530
公開番号（公開出願番号）：特開2010-036291
出願日： 2008年08月04日
公開日（公表日）： 2010年02月18日
要約：

【課題】切削ブレードの切刃が摩耗しても、より長く使用することを可能にすると共に、切刃を損傷させないようにする。【解決手段】切削ブレード30が把持部301と把持部301の外周側の切刃300とから構成され、装着軸32に装着された切削ブレード30が固定フランジ33と着脱フランジ34とによって挟持され、固定フランジ33及び着脱フランジ34の外周側から切刃300が突出した構成の切削手段3を有する切削装置において、固定フランジ33及び着脱フランジ34を外径の異なるものに交換することにより、固定フランジ33及び着脱フランジ34の外周側からの切刃300の突出量を調整可能とし、切削ブレード30の寿命を長くすると共に切削対象のウェーハの厚さに対応して切刃300の適切な突出量を確保する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する回転可能な切削ブレードを有する切削手段とを少なくとも備えた切削装置であって、 該切削手段は、回転軸と、該回転軸に配設される固定フランジと、該固定フランジから軸心方向に突出し先端部に雄螺子が形成された装着軸と、該装着軸を貫通させる貫通孔を有する切削ブレードと、該切削ブレードを該固定フランジとで挟持する着脱フランジと、該装着軸に形成された雄螺子に螺合して該着脱フランジを該装着軸に固定する固定ナットとから構成され、 該切削ブレードは、該貫通孔を有する把持部と、該把持部の外周側に形成された切刃とから構成され、 該固定フランジ及び該着脱フランジとで該切刃を挟持して該固定フランジ及び該着脱フランジの外周から該切刃を突出させ、該固定フランジ及び該着脱フランジを外径の異なるものに交換することにより、該固定フランジ及び該着脱フランジの外周側からの該切刃の突出量を調整可能とした 切削装置。

IPC (4件)：

B24B 45/00 ,  H01L 21/301 ,  B24B 27/06 ,  B23B 31/02

FI (4件)：

B24B45/00 Z ,  H01L21/78 F ,  B24B27/06 J ,  B23B31/02 601A

Fターム (13件)：

3C032DD01 ,  3C032DD04 ,  3C034AA19 ,  3C034BB52 ,  3C034DD10 ,  3C034DD20 ,  3C058AA03 ,  3C058AA14 ,  3C058AA19 ,  3C058CA05 ,  3C058CB05 ,  3C058CB07 ,  3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ハブブレード装着機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-136366   出願人：株式会社ディスコ
• ブレード装着機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-152303   出願人：株式会社ディスコ