特許
J-GLOBAL ID:201003091040571630

成形シートの欠陥検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 長谷川 和哉 ,  鶴田 健太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-298680
公開番号(公開出願番号):特開2010-122192
出願日: 2008年11月21日
公開日(公表日): 2010年06月03日
要約:
【課題】種々の欠陥をより確実に検出することができる、成形シートの欠陥検査装置を提供する。【解決手段】欠陥検査装置は、成形シートの2次元画像を複数回撮像して複数の2次元画像データを生成する撮像部51〜5nと、成形シートにおける撮像領域の一部に線状光源像が投影されるように成形シートを照明するための線状光源と、成形シートにおける線状光源像の位置が変化するように、成形シートを、線状光源の長手方向と交差し、かつ成形シートの厚み方向に直交する方向に搬送する搬送装置と、撮像部51〜5nで生成された複数の2次元画像データから線欠陥検出アルゴリズムによって欠陥を検出する線欠陥用画像解析部611〜61nと、撮像部51〜5nで生成された複数の2次元画像データから点欠陥検出アルゴリズムによって欠陥を検出する点欠陥用画像解析部621〜62nとを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
成形シートの欠陥を検出する欠陥検査装置であって、 上記成形シートの2次元画像を複数回撮像して複数の2次元画像データを生成する撮像手段と、 上記成形シートにおける撮像される領域の一部に線状光源の像が投影されるように、上記成形シートを照明するための線状光源と、 上記成形シートにおける上記線状光源の像が投影されている位置が変化するように、上記成形シートおよび上記線状光源の少なくとも一方を、上記線状光源の長手方向と交差し、かつ上記成形シートの厚み方向に直交する方向に移動させる移動手段と、 上記撮像手段で生成された複数の2次元画像データから線欠陥を検出する線欠陥検出手段とを備え、 上記線欠陥検出手段は、 上記2次元画像データにおける線状光源の像のエッジを関数曲線でフィッティングし、線状光源の像のエッジと関数曲線との距離が第1の閾値以上である箇所を線欠陥として検出する線欠陥検出アルゴリズム、または 上記2次元画像データにおける線状光源の像のエッジについて、各画素の近傍領域における曲率を求め、曲率が第2の閾値以上である箇所を線欠陥として検出する線欠陥検出アルゴリズムによって線欠陥を検出するものであることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (1件):
G01N 21/892
FI (1件):
G01N21/892 A
Fターム (12件):
2G051AA32 ,  2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051DA15 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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