特許
J-GLOBAL ID：201003092024958505

照明装置及びそれを有する外観検査装置

発明者：
斉藤 謙治

斉藤 謙治 について

, 
吉川 博志

吉川 博志 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-284223
公開番号（公開出願番号）：特開2010-112786
出願日： 2008年11月05日
公開日（公表日）： 2010年05月20日
要約：
【課題】 被検査面の表面凹凸の分布のムラを評価すると同時に、簡便に表面に付着したゴミや異物、そしてケバ等の欠陥を表面の構造に影響されずに容易に検査することができる照明装置及びそれを有する外観検査装置を得ること。 【解決手段】 光源手段と、該光源手段から出射した光束を被照射物体の被照射面に斜め方向の成分を多く含む光束で照明する照明手段と該照明手段からの光束であって、該被照射物体に照射されなかった光束の一部を該被照射物体側へ拡散反射させる拡散部材とを有し、該被照射面を該照明手段からの光束と、該拡散部材からの拡散光束で同時に照明すること。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源手段と、該光源手段から出射した光束を被照射物体の被照射面に斜め方向の成分を多く含む光束で照明する照明手段と該照明手段からの光束であって、該被照射物体に照射されなかった光束の一部を該被照射物体側へ拡散反射させる拡散部材とを有し、該被照射面を該照明手段からの光束と、該拡散部材からの拡散光束で同時に照明することを特徴とする照明装置。
IPC (3件)：
G01N 21/952 ,  G01N 21/84 ,  G01B 11/30
FI (3件)：
G01N21/952 ,  G01N21/84 E ,  G01B11/30 A
Fターム (35件)：
2F065AA49 ,  2F065BB06 ,  2F065BB08 ,  2F065BB25 ,  2F065DD04 ,  2F065DD13 ,  2F065FF41 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065HH02 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL19 ,  2F065LL46 ,  2F065LL49 ,  2F065QQ25 ,  2G051AA44 ,  2G051AA90 ,  2G051AB05 ,  2G051AB10 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051BB11 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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