特許
J-GLOBAL ID：201003092040817717
基板搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福井 豊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-074084
公開番号（公開出願番号）：特開2010-226014
出願日： 2009年03月25日
公開日（公表日）： 2010年10月07日
要約：
【課題】搬送ロボットにより基板を搬送する際の基板のすべりや、搬送ロボットから基板保持台上への基板受け渡し時に生じる位置ずれを防止する。【解決手段】処理室8内に設置された基板7の位置を検出するために搬送アーム4の先端に撮像部12を備えた搬送ロボット49を有する。処理室8への基板搬送完了後に再び処理室8へ搬送アーム4を伸ばし、基板7と基板保持台10の各外周縁部の位置を計測し、代数計算により基板7の各中心座標Osと基板保持台10の中心座標Obを求める。両中心座標Os、Obの位置が実質的に一致しなければ、基板7の位置ずれが生じているので、その位置ずれを補正する方向へ基板7を搬送ロボット49により再度移動する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
処理室内に設けられた基板保持台に基板を搬送する搬送ロボットを備えた基板搬送装置であって、
前記搬送ロボットが備える基板搬送アームに支持された、前記基板保持台に載置された前記基板を含む光学画像を取得する撮像部と、
前記撮像部で得られる光学画像に基づいて前記基板の外周縁部の位置情報と前記基板保持台の外周縁部の位置情報とを取得する位置情報取得部と、
取得された各外周縁部の位置情報に基づいて、前記基板と前記基板保持台との間に位置ずれが生じているか否かを判定する判定部と、
位置ずれが生じていると判定された場合に、前記取得された各外周縁部の位置情報に基づいて算出される位置ずれ量に応じて、前記基板を前記基板保持台に対して移動させる搬送制御部と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 A
, B25J13/08 A
3C007BS15
, 3C007KS05
, 3C007KT01
, 3C007KT05
, 3C007KT07
, 3C007LS15
, 3C007LT06
, 3C007NS12
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031FA01
, 5F031FA02
, 5F031GA02
, 5F031GA36
, 5F031GA43
, 5F031JA04
, 5F031JA13
, 5F031JA27
, 5F031JA32
, 5F031JA36
, 5F031KA10
, 5F031MA04
, 5F031MA28
, 5F031MA32
, 5F031NA05
