特許
J-GLOBAL ID：201003094828705670
タッチパネルセンサ、タッチパネルセンサを作製するための積層体、および、タッチパネルセンサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
吉武 賢次
, 永井 浩之
, 岡田 淳平
, 勝沼 宏仁
, 堀田 幸裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-039421
公開番号（公開出願番号）：特開2010-198103
出願日： 2009年02月23日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：
【課題】互いに対して精度良く位置決めされた第1電極部および第2電極部を含むタッチパネルセンサを製造する方法を提供する。【解決手段】製造方法は、基材フィルム32と、基材フィルムの両側に積層された第1および第2の導電層40,45と、導電層上に積層された遮光層と、を有する積層体50の両側に積層された第1および第2の感光層52a,52bを製版する工程と、その後、遮光層および導電層をエッチングしてパターニングする工程と、を含む。製版時、第1および第2の感光層は、同時露光される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透光性を有した基材フィルムと、前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第1導電層と、前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第2導電層と、前記第1導電層および前記第2導電層のうちの少なくとも一つの層上に設けられ遮光性を有する遮光層と、を有する積層体の一方の側の面上に感光性を有する第1感光層を形成し、前記積層体の他方の側の面上に感光性を有する第2感光層を形成する工程と、
前記第1感光層上に第1マスクを配置するとともに前記第2感光層上に第2マスクを配置した状態で、前記第1感光層および前記第2感光層を互いに異なるパターンで同時に露光する工程と、
前記第1感光層および前記第2感光層を現像してパターニングする工程と、
パターニングされた前記感光層をマスクとして前記遮光層をエッチングして、前記遮光層をパターニングする工程と、
パターニングされた前記感光層および前記遮光層をマスクとして、前記第1導電層および前記第2導電層をエッチングして、前記第1導電層および前記第2導電層を互いに異なるパターンにパターニングする工程と、
前記第1導電層および前記第2導電層をパターニングした後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記第1感光層および前記第2感光層を除去する工程と、
前記第1感光層および第2感光層を除去する工程の後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記遮光層を除去する工程と、を備える
ことを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
5B087AA02
, 5B087CC01
, 5B087CC13
, 5B087CC14
, 5B087CC26
, 5B087CC32
