特許
J-GLOBAL ID：201003096708042220
光学顕微鏡、及び観察方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
家入 健
, 岩瀬 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-220243
公開番号（公開出願番号）：特開2010-054368
出願日： 2008年08月28日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：
【課題】分光器によってスペクトルを測定可能であるとともに、試料を高速かつ高分解能で撮像することができる光学顕微鏡、及び観察方法を提供する。【解決手段】第1の態様にかかる光学顕微鏡100は、レーザ光源10と、光ビームをY方向に走査するY走査装置40と、対物レンズ23と、光ビームをX方向に走査するX走査装置20と、スペクトルを測定するための分光器31と、ラインCCDカメラ50が設けられている。そして、分光器31に向かう第1の光路51と、ラインCCDカメラ50に向かう光路52とを切換える切換えミラー27が挿脱可能に設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、
前記レーザ光源からの光ビームを偏向させて第1の方向に走査する第1の走査手段と、
前記第1の走査手段により走査された光ビームを集光して試料に入射させる対物レンズと、
前記第1の走査手段によって走査された光ビームと前記試料との相対位置を移動させて第2の方向に走査する第2の走査手段と、
前記第1の走査手段から前記試料までの光路中に配置され、前記試料に入射された光ビームのうち前記試料から前記対物レンズ側に出射する出射光と前記レーザ光源から前記試料に入射する入射光とを分離する光分岐手段と、
前記光分岐手段により分離された出射光が集光されて入射する入射側に前記第1の方向に対応する方向に沿って配置された入射スリットを有し、前記入射スリットを通過した前記出射光を波長に応じて空間的に分散させる分光器と、
前記分光器で分散された出射光を検出する2次元アレイ光検出器と、
前記試料と共役な位置に配置され、前記第1の方向に対応する方向に沿って配列された受光素子を有する光検出器と、
前記光分岐手段で分離された出射光が、前記分光器に向かうか、前記光検出器に向かうかを切換える切換手段と、を備える光学顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 21/65
, G01N 21/64
, G02B 21/00
G01N21/65
, G01N21/64 E
, G02B21/00
2G043AA01
, 2G043EA01
, 2G043EA03
, 2G043FA02
, 2G043GA02
, 2G043GA04
, 2G043GB01
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA09
, 2G043HA15
, 2G043JA02
, 2G043JA04
, 2G043KA02
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043LA03
, 2H052AA07
, 2H052AA09
, 2H052AC15
, 2H052AC16
, 2H052AC18
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 2H052AD16
, 2H052AD34
, 2H052AF07
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
